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第4章 电容式传感器 可以看出，电路充放电的时间，即触发器输出方波脉冲的宽度受电容C1、C2调制。 当C1=C2时，各点的电压波形如图4.16(a)所示，Q 和 两端电平的脉冲宽度相等，两端间的平均电压为零。 当C1＞C2时，各点的电压波形如图4.16(b)所示， Q、两端间的平均电压(经一低通滤波器)为 ?(4-27) 式中：T1和T2分别为Q端和 端输出方波脉冲的宽度，亦即C1和C2的充电时间。 * 图4.16 各点电压波形图 第4章 电容式传感器 * 当该电路用于差动式变极距型电容传感器时，式(4-27)有 ???????????????????????????????????????????? (4-28) 这种电路只采用直流电源，无需振荡器，要求直流电源地电压稳定度较高，但比高稳定度地稳频稳幅交流电源易于做到。 用于差动式变面积型电容传感器时有 ?????????????????????????????????????????? (4-29) 第4章 电容式传感器 * 第4章 电容式传感器 4.2.4．运算放大器电路 　　　这种电路不需要载频和附加解调线路，无波形和相移失真；输出信号只需要通过低通滤波器引出；直流信号的极性取决于C1和C2；对变极距和变面积的电容传感器均可获得线性输出。这种脉宽调制线路也便于与传感器做在一起，从而使传输误差和干扰大大减小。 　　　图4.17为其电原理图。C1为传感器电容，它跨接在高增益运算放大器的输入端和输出端之间。放大器的输入阻抗很高(Zi→∞)，因此可视作理想运算放大器。其输出端输出一与C1成反比的电压U0，即 (4-30) * ????图4.17 运算放大器电路???? 第4章 电容式传感器 　　　式中?? Ui为信号源电压，C0为固定电容，要求它们都很稳定。 　　对变极距型电容传感器(C1＝ε0εrA/δ)，式(4-30)可写为 * ?????????????????????????????????????? (4-31) 　可见配用运算放大器测量电路的最大特点是克服了变极距型电容传感器的非线性。 第4章 电容式传感器 * 第4章 电容式传感器 1.优点： Ⅰ.温度稳定性好 电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。 而电阻传感器有铜损等，易发热产生零漂。 第三节 特点和应用中存在的问题 4.3.1 特点 * 第4章 电容式传感器 Ⅱ.结构简单 电容传感器结构简单，易于制造，易于保证高精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强辐射及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力，高冲击，过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。 Ⅲ.动态响应好 电容式传感器带电极板间的静电引力很小（约几个10－5N），需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆Hz的频率下工作，特别适用于动态测量。又因其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高，可用于测量高速变化的参数。 * Ⅳ.可以非接触测量，具有平均效应 采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。如非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。 电容式传感器除上述优点外，还因其带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量极小，可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等；可以做得很灵敏，分辨力高，能敏感0.01μm 甚至更小的位移；由于其空气等介质损耗小，采用差动结构并接成电桥式时产生的零残极小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度。 第4章 电容式传感器 * 2.缺点 Ⅰ.输出阻抗高，负载能力差 电容式传感器的容量受其电极的几何尺寸等限制，一般为几十到几百皮法，其值只有几个皮法，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达108～106Ω。因此传感器的负载能力很差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作，必须采取屏蔽措施，从而给设计和使用带来极大的不便。容抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高（几十兆欧以上），否则绝缘部分将作为旁路电阻而影响仪器的性能（如灵敏度降低），为此还要特别注意周围的环境如湿度、清洁度等。 第4章 电容式传感器 * 若采用高频供电，可降低传感器输出阻抗，但高频放大、传输远比低频的复杂，且寄生电容影响大，不易保证工作十分稳定。 Ⅱ.寄生电容