质量的测量及仪器.PDF

线位移光栅 （长度光 分辨率：1 µ m 或 0.1 µ m，甚至更高精度 小块光栅作指示光栅覆盖在主光栅 栅） 可达 0.5 µ m/1m，甚至更高 上，中间留一小间隙，两光栅的刻线 相交成一小角度，在近于光栅刻线的 垂直方向上出现条纹称莫尔条纹。指 示光栅移动一小距离，莫尔条纹就在 垂直方向上移动一较大距离，且通过 光电计数可测出位移量 感应同步器，磁尺， 分辨率可达 1 µ m 或 10 µ m 多在精密机床上应用 电栅（容栅） 激光作光源，借助于一光学干涉系统 量程一般可达 20m 可将位移量转变成移过的干涉条纹 分辨率可达 0.01 µ m 单频激光干涉仪 数目。通过光电计数和电子计算机直 测量不确定度在环境条件好时，优于 1 × 接给出位移量。测量精度高，需要恒 10-7 温、防震等较好的环境条件 量程可达 60m，分辨率一般可达 0.01 µ m ， 与单频激光干涉仪相比，抗干扰能力 双频激光干涉仪 最高可达纳米量级，测量不确定度优于 5 × 强，环境条件要求低，成本高 10-7 标准线纹尺有线纹米尺和 200mm 短尺两 种，一般线纹尺的长度有 0.1，0.5，2 ，5， 10，20 ，50m 等。 1~100mm 线纹尺精度如下： 作为长度标准用或作为检定低一级 线纹尺 1 等： ±(0.1+ 0.4L / m)µ m 量具的标准量具 2 等： ±(0.2 + 0.8L / m)µ m 3 等： ±(3 + 7L / m)µ m 按其制造误差分为：00 ，0，1，2 ，（3 ）和 标准（k ）六级。00 级，小于 10mm 的量块， 量 块 工 作 面 上 任 意 点 的 长 度 偏 差 不 得 超 过 ±0.06µ m 第三节 质量的测量及仪器 质量是基本量之一，也是三个力学基本量中的一个。在国际单位制中，质量的计算单 位是千克（kg ）。1 千克就是保存在法国巴黎国际权度局的铂铱合金制成的国际 kg 原器所 -3 -6 体现的质量。常用的质量单位还有克（lg ＝10 kg ）、毫克（1mg＝10 kg ）、微克（1µ g ＝ -9 10 kg ）等。 对物体的质量，有引力质量和惯性质量两种定义，实验证明它们