基于ltcc技术的微型faims生化气体传感器制备 preparation of micro faims biochemical gas sensor based on ltcc technology.pdfVIP

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2017-11-02 发布于上海
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基于ltcc技术的微型faims生化气体传感器制备 preparation of micro faims biochemical gas sensor based on ltcc technology.pdf

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基于ltcc技术的微型faims生化气体传感器制备 preparation of micro faims biochemical gas sensor based on ltcc technology

LTCC FAIMS 030051 Preparation of Micro FAIMS Biochemical Gas Sensor Based on LTCC Technology Key Laboratory of Instrumentation Science Dynamic Measurement Ministry of Education Science and Technology on Electronic Test Measurement Laboratory North University of China Taiyuan 030051 China Abstract Key words 0 1FAIMS 11FAIMS