第三章 磁控溅射.pdf

第三章第三章第三章第三章第三章第三章第三章第三章 薄膜的制备薄膜的制备薄膜的制备薄膜的制备薄膜的制备薄膜的制备薄膜的制备薄膜的制备－－－－溅射溅射溅射溅射溅射溅射溅射溅射 杨晓非杨晓非 年1212月月 内容提要： 真空的获取真空的获取 射频磁控溅射原理 讨论 1 真空的获取 11.11 气体与真空气体与真空 真空的性质可由压强真空的性质可由压强、、单位单位 体积分子个数、气体的密度 等表示等表示 真空：低于一个大气压的气 体状态体状态 特点：压强低，分子稀薄， 分子的平均自由程长分子的平均自由程长。 1.2 真空的单位 用 “真空度”及 “压强”两个参量来衡量真空的程 度。 单位： 2 帕斯卡（Pascal）=1牛/米 ，国际单位制 托托 （（TorrTorr））=133=133.322Pa322Pa，描述真空的独特单位描述真空的独特单位 此外，mmHg、bar等 1.3 真空的必要性： 为薄膜生长提供洁净表面为薄膜生长提供洁净表面 颗粒可以做直线运动 1.4 真空的划分 5 2 粗真空粗真空1010 －1010 Pa :Pa : 目的是获得压差目的是获得压差 2 -1 低真空10 －10 Pa: 气体分子运动特征改变 -1 -6 高真空10 －10 Pa : 超高真空超高真空＜＜1010-66 PPa： 1.5 真空的获得 典型的真空系统包括： 真空室真空室 （（ChChambber））， 真空泵（Vacuum Pump）, 电源电源 （（PPower）） 控制系统（Control system） 真空计真空计 （（VVacuum G Gag）） 两个个重要参数： 极限真空（本底真空） BBase pressure or UlUltiimate pressure 抽气速率抽气速率 （Pumpmpingg sppeed） 1.61.6 主要的真空泵主要的真空泵 机械泵：油封机械泵、分子泵、罗茨泵： 利用机械压力压缩排出气体 蒸汽喷射泵：水银扩散泵、油扩散泵、油喷射泵 依靠蒸汽喷射的动量带走气体 干式泵干式泵：吸附泵吸附泵、冷凝泵冷凝泵、冷凝吸附泵冷凝吸附泵 利用低温表面对气体进行物理吸附排出气体利用低温表面对气体进行物理吸附排出气体 1.7 主要的真空计（间接测量） U形管压力计 利用大气压与真空压差 55 22 测量范围测量范围 （（PaPa））1010 －1010 电阻真空计、热偶真空计利用气体分子热传导 44 -22 测量范围测量范围