第四章 电容式传感器2.pdf

4.1 极距变化型电容式传感器 4.2 面积变化型电容式传感器 4.3 介质变化型电容式传感器 4.4 电容式传感器的测量电路 4.5 电容式传感器的应用 4.6 电容式传感器的特点、问 题及影响精度的原因  电容式传感器是实现非电量到电容量转化的一类传感器， 可以应用于位移、振动、角度、加速度等参数的测量中。 电容式传感器的位移测量范围一般在1μm—10mm之间， 变极距式电容传感器的测量精度约为2%  优点：  结构简单、灵敏度高，动态响应好，抗过载能力强， 对恶劣条件适应性强，价格便宜，且可非接触测量， 因此很有应用前景  变面积式电容传感器的测量精度较高，其分辨率可达 0.3μm 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器， 如果不考虑边缘效应，两金属板间的电容量为：   S r 0 c d  ：相对介电常数 r  ：真空介电常数（8.85 ×10-12F/m） 0 S ：极板面积（极板相对覆盖面积） d d ：板间距离  ：电容极板间介质的介电常数 （F/m） = 0 保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数，就 可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电 路就可转换为电量输出 使被测量与其中一参数存在某种对应函数关系，被测 量变化可由电容量变化反映出来  极距变化型电容传感器（d 变化）  面积变化型电容传感器（S 变化）  介值变化型电容传感器（ε 变化）  电容式传感器可分为 、 和 三种类型  在实际使用时，电容式传感器常以改变改变平行板 间距d 来进行测量，因为这样获得的  改变平行板间距d 的传感器可以测量 的 位移，而改变面积S 的传感器只适用于测量 的位移 当传感器的ε 和S 为常数，初始极距为d 时，其初始电容量C 为： 0 0 S C 0 d 0  S C C C 0 d +d d d +d 0 0 0 变极距型电容式传感器的原理图 若电容器极板间距离由初始值d0 产生位移