基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真-中国科技论文在线.pdfVIP

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2018-06-07 发布于天津
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基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真-中国科技论文在线.pdf

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基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真-中国科技论文在线

__________________________________________________________________________ Vol. No. ACTA AERONAUTICA ET ASTRONAUTICA SINICA Nov. : 1 1 1 MODELING AND SIMULATION OF MICROMACHINED ACCELRAMETER USING MULTI-PORT-ELEMENT NETWORK METHOD 1 1 1 HUO Peng-fei , MA Bing-he , YUAN Wei-zheng (1. MEMS/NEMS Lab., Northwestern Polytechnical University, Xi’an 710072, China) Abstract: A method for modeling and simulation of MEMS based on multi-port-element network is presented. With this method, the functional components of inertial MEMS are modeled as multi-port-elements and a crab- leg accelerometer is represented as a network composed of these models. All the models are coded in analogy hardware description language of MAST and simulated on the Saber simulator. With this approach the system behavior can be rapidly analyzed and the influence of its parameters on system performance can be evaluated. Simulation of modal frequency of the crab-leg accelerometer model agrees to within 1.0% of the finite element analysis. Simulation results indicate the system sensitivity seriously influenced by the width of the crab-leg beam, so the fabrication e