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热交换法生长c面取向大尺寸蓝宝石晶体的研究.pdf
热交换法生长c面取向大尺寸蓝宝石晶体的研究
张雪平
湖南大学物理与微电子科学学院，长沙410082
摘要：本文使用热交换法直接生长c面取向，尺寸为φ170 mm× 160 mm，重12 kg的蓝宝石晶体。晶体无色透明，内
部无散射颗粒。沿c面(0001)方向的晶棒锥光图可观察到同心圆簇的干涉条纹，仅中心较小区域因内应力存在，
干涉条纹发生扭曲。将抛光的晶片进行化学腐蚀后，通过金相显微镜检测位错腐蚀坑形貌图，结果显示，腐蚀坑呈
三角形，平均位错密度较低，为1.98 × 103 Pits/cm2,X射线衍射半峰宽较小，晶体结构完整。
蓝宝石晶体；热交换法；c向生长；位错密度
O78 A 1000-985X(2012)03-0584-04
Study on c-plane Large Size Sapphire Growth by Heat-exchange Method
ZHANG Xue-ping
2012-02-15
张雪平(1987-),女，四川省人，硕士研究生。E-mail：zxphnu@ 126.com
2 晶体生长
第41卷
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