非晶氧化钛薄膜形成过程中钛离子能量对表面结构影响的机理.PDFVIP

非晶氧化钛薄膜形成过程中钛离子能量对表面结构影响的机理 陈仙 王炎武 王晓艳 安书董 王小波 赵玉清 Effectoftitaniumionenergyonsurfacestructureduringtheamorphoustitaniumdioxidefilmdeposition ChenXian WangYan-Wu WangXiao-Yan AnShu-Dong WangXiao-Bo Zhao Yu-Qing 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,246801(2014) DOI: 10.7498/aps.63.246801 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.63.246801 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2014/V63/I24 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyou maybeinterestedin U Pu O 热膨胀性质分子动力学模拟研究 MoleculardynamicstudyonthermalexpansionofU Pu O 物理学报.2014,63(8): 083103 /10.7498/aps.63.083103 Al (n=13--32) 团簇熔化行为的分子动力学模拟研究 Moleculardynamicalsimulationsofthemeltingproperties of Al (n=13--32)clusters 物理学报.2013,62(19): 193104 /10.7498/aps.62.193104 UO 晶体中低密勒指数晶面表面能的分子动力学模拟 Moleculardynamicssimulationofsurfaceenergyoflow miller index surfaces inUO 物理学报.2013,62(10): 103104 /10.7498/aps.62.103104 Li+HF(v=0--3,j=0)?LiF+H 反应的立体动力学理论研究 StereodynamicsstudyofLi+HF(v=0--3,j=0)?LiF+Hreaction 物理学报.2013,62(7): 073105 /10.7498/aps.62.073105 脉冲激光烧蚀制备纳米Si 晶粒成核气压阈值及动力学研究 PressurethresholdanddynamicsofnucleationforSinano-crystalgrainspreparedbypulsedlaserablation 物理学报.2011,60(12): 126801 /10.7498/aps.60.126801 物理 学报 Acta Phys. Sin. Vol. 63, No. 24 (2014) 246801 非晶氧化钛薄膜形成过程中钛离子能量 对表面结构影响的机理 安书董 王小波 赵玉清 陈仙 王炎武 王晓艳 (西安交通大学电子与信息工程学院, 电子物理与器件教育部重点实验室, 西安 710049) ( 2014 年4 月28 日收到; 2014 年8 月13 日收到修改稿) 研究了非晶氧化钛薄膜沉积过程中入射钛离子能量对表面结构形成机理以及薄膜特性的影响. 模拟结果 表明, 通过提高入射钛离子能量, 可以有效降低成膜表面粗糙度, 从而减小薄膜表面的光学散射损耗. 研究发 现, 当入射离子能量提高后, 薄膜生长模式从“岛” 状生长过渡到了“层” 状生长, 且离子入射点附近的平均扩 散系数也有显著增加, 这有利于形成更加平整的高质量薄膜表面. 关键词: 薄膜生长, 分子动力学, 表面结构 PACS: 68.55.A–, 31.15.xv, 81.15.Aa, 02.60.–x DOI: 10.7498/aps.63.246801 局限性, 无法给出更详细的生长过程的信息. 随