多孔体坩埚生长氟化钙晶体-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ １０ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．１０ 　 　 　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　 　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ １０ Ｏｃｔ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７１０１４７４０４ 　 多孔体坩埚生长氟化钙晶体 ， １２ ３ １ 沈永宏 ，闫冬梅 ，王 琦 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 ； １． １３００３１ 中国科学院 研究生院，北京 ； 长春职业技术学院，吉林 长春 ） ２． １０００３９３． １３００３１ 摘要：采用独特设计的多孔体坩埚和自行设计的晶体生长炉，在真空条件下，用 ＢｒｉｄｍａｎＳｔｏｃｋｂａｒｅｒ法生长出了ＣａＦ ｇ ｇ ２ 光学晶体。在真空度低于 －３ ，生长区中心轴温度梯度为 ／ ，径向梯度 ／ ，生长速率为 ３×１０ Ｐａ １．８ ２．５℃ ｍｍ ０．５℃ ｍｍ ～ ＜ ／，初退火降温速率控制在 ／ 以下的生长条件下，进行熔料、氟化去氧、均一化熔体、控速生长及初退火， ３ ４ｍｍ ｈ ２０℃ ｈ ～ 一炉次生长了七根 的 光学晶体，并进行了性能分析。结果表明，生长出的晶体透带宽，从紫外 ５７ｍｍ×１９０ｍｍ ＣａＦ ２ 到红外 均有良好的透过率， 处透过率可达 ， 处透过率可达 ，单晶率可达 １９０ｎｍ ９０００ｎｍ １９０ｎｍ ８１％ ９０００ｎｍ ８３％ ２ ，位错密度达 ／ 。使用本文提出的设备和工艺，提高了 晶体的单晶率，降低了使用损耗，可实现中小尺 ８０％ ３０ｍｍ ＣａＦ ２ 寸 ＣａＦ 晶体的规模化生