激光干涉仪数字测角的新方法及其应用-光学精密工程.pdfVIP

91 Vol. 9, No. 1 2 0 0 1 2 OPTICS AND PRECISION ENGINEERING Feb. , 2001 1004-924 ( 2001) 01-0085-04 X 王贵甫, 陈桂林, 陈雨良 ( 中国科学院上海技术物理研究所, 上海　200083) : , , , , , , : 迈克耳孙干涉仪; 激光; 角度; 测量 :TH744. 3:A 2　系统介绍 1　引　　言 , , , , : ;