基于太赫兹时域光谱的胶层厚度均匀性检测-激光与红外.pdfVIP

第４４卷　 第７期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４４，Ｎｏ．７ 　 ２０１４年７月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊｕｌｙ，２０１４ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１４）０７０８０１０４ ·太赫兹技术 · 基于太赫兹时域光谱的胶层厚度均匀性检测 李丽娟，周明星，任姣姣 （长春理工大学光电测控技术研究所，吉林 长春 １３００２２） 摘　要：太赫兹波与不同的介质相互作用，探测器在不同的时间节点检测到携带介质信息的太 赫兹时域波形，分析不同时域波形峰值点的飞行时间差，分别建立了透射式和反射式太赫兹无 损检测单点厚度提取模型。在柔性装配过程中，一般有机硅胶的折射率难以提取，基于单点厚 度提取模型，绘制了胶层空间分布三维形貌图，并提出了采用厚度均匀性标准偏差的方法评价 胶层空间分布离散性。太赫兹时域光谱技术系统分析胶层厚度的均匀性，检测精度可达 １００ ｍ，对保证胶层连接强度有重要意义。 μ 关键词：太赫兹；无损检测；胶层厚度均匀性 中图分类号：Ｏ４３３　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１４．０７．０２０ Ｔｅｓｔｏｆｔｈｅａｄｈｅｓｉｖｅｔｈｉｃｋｎｅｓｓｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙｂａｓｅｄｏｎ ｔｅｒａｈｅｒｔｚｔｉｍｅｄｏｍａｉｎｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ ＬＩＬｉｊｕａｎ，ＺＨＯＵＭｉｎｇｘｉｎｇ，ＲＥＮＪｉａｏｊｉａｏ （ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＰｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｉｃＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｎｄＣｏｎｔｒｏｌＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＣｈａｎｇｃｈｕｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００２２，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＷｈｅｎＴＨｚｗａｖｅｓｉｎｔｅｒａｃｔｗｉｔｈｄｉｆｆｅｒｅｎｔｍｅｄｉａ，ｄｅｔｅｃｔｏｒｄｅｔｅｃｔｓｔｈｅＴＨｚｔｉｍｅｄｏｍａｉｎｗａｖｅｆｏｒｍｏｆｃａｒｒｙｉｎｇ ｍｅｄｉａｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎａｔｄｉｆｆｅｒｅｎｔｔｉｍｅｎｏｄｅｓ，ｔｈｅｆｌｉｇｈｔｔｉｍｅｄｉｆｆｅｒｅｎｃｅｂｅｔｗｅｅｎｔｈｅＴＨｚｐｕｌｓｅｓｉｓａｎａｌｙｚｅｄ，ｅｘｔｒａｃｔｉｏｎ ｍｏｄｅｌｏｆｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎａｎｄｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎＴＨｚｎｏｎｄｅｓｔｒｕｃｔｉｖｅｉｎｓｐｅｃｔｉｏｎｏｆｓｉｎｇｌｅｐｏｉｎｔｔｈｉｃｋｎｅｓｓａｒｅｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅ ｌｙＩｎｆｌｅｘｉｂｌｅａｓｓｅｍｂｌｙｐｒｏｃｅｓｓ，ｒｅｆｒａｃｔｉｖｅｉｎｄｅｘｏｆｓｉｌｉｃｏｎｅａｄｈｅｓｉｖｅｉｓｄｉｆｆｉｃｕｌｔｔｏｂｅｅｘｔｒａｃｔｅｄＢａｓｅｄｏｎｔｈｅｓｉｎｇｌｅ ｐｏｉｎｔｔｈｉｃｋｎｅｓｓｅｘｔｒａｃｔｉｎｇｍｏｄｅｌ，ａｔｈｒｅｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎａｌｔｏｐｏｇｒａｐｈｙｏｆａｄｈｅｓｉｖｅｓｐａｔｉａｌｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎｉｓｄｒａｗｎ，ａｎｄｔｈｅ ｓｔａｎｄａｒｄｄｅｖｉａｔｉｏｎｆｏｒｔｈｉｃｋｎｅｓｓｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙｉｓｐｕｔｆｏｒｗａｒｄｔｏｅｖａｌｕａｔｅｔｈｅｄｉｓｃｒｅｔｅｎｅｓｓｏｆａｄｈｅｓｉｖｅｓｐａｔｉａｌｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ ＡｎａｌｙｚｉｎｇｔｈｅｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙｏｆａｄｈｅｓｉｖｅｔｈｉｃｋｎｅｓｓｕｓｉｎｇＴＨｚＴＤＳｓｙｓｔｅｍ，ｔｈｅｄｅｔｅｃｔｉｎｇａｃｃｕｒａｃｙｉｓｕｐｔｏ１００ ｍ，ａｎｄｉｔ μ ｉｓｉｍｐｏｒｔａｎｔｆｏｒｅｎｓｕｒｉｎｇｔｈｅａｄｈｅｓｉｖ