基于时间平均干涉法的微结构离面运动测量.pdfVIP

2006年6月 陈津平等：基于时间平均干涉法的微结构离面运动测量 ·127· (，1一，3)2=4，02y：。cos29。。。(菇，y) (厶一，4)2=4，02y：。。sin29。。。(菇，y) 小离面运动幅值的有效性．关闭测量系统的激励信号， (4) 对静止器件再次进行测量，测得该点处的运动幅值为 (，1一，3)：+(乞一厶)z：4厶zy：。。 5nm，此值是由于测量过程中的随机噪声引起的，因此 ~／(，。一，3)2+(毛一厶)2=2毛7。。。 系统的离面探测极限应该在5nm左右．从测量时间方 (2)对于振动状态物体，有： 面考虑，基于时间平均干涉法的测量方法测量一个频 率条件下的参数需要采集8幅图像，而基于频闪干涉 (，。一，3)2=4，02yi。焉(竿o。)cos2‰。，(z，)，) 法的测量方法需要采集40幅图像(采用5步相移算 (厶一，4)2=4，02y：。。龙(竿00)sin29，；br(戈，y) 法，采集8个照明相位时)MJ，另外在频闪干涉法中还 存在相位解包裹过程，十分耗时，因此基于时间平均干 (，。一，3)2+(，2一，4)2=4，027乞。矗(竿‰) 涉法方法是一种快速测量方法，单点测量时间小于 】0s． 扣—丁丽=2“。。I厶(譬00)I (5) 将振动状态和静止状态得到的结果(厶一，3)2+ (，2一厶)2相除，可以得到： ^ T2，叶耵 、 ／，、 ㈤¨7 叫扒A％7 兰拿堋竿¨ 4露y乙。 振动幅值口0通过Bessel函数平方确定． 3实验结果与分析 (a)0。相位时的静止图像 这种方法适用于微薄膜和微梁的动态形变测量， 因为它们的形变较小(通常几十纳米)，符合时间平均 法自动测量的条件，可以利用此方法进行快速测量．由 于条件的限制，实验只是通过测量来自美国北卡罗莱 纳微电子中心的微谐振器的离面运动来验证该方法的 有效性‘51． 实验条件：实验采用50×的Mirau干涉物镜(NA (b)Oo相位时的运动图像 =0．55)，水平分辨力为560nm(依赖于采用的干涉物 图3时间平均干涉法的测量结果 镜)，MEMs器件的激励波形为正弦波，幅值为10V， 偏压为20V，频率为10kHz；ccD曝光时间为200ms， 工作模式为连续模式，照明光源为连续光源．分别在静 止状态和运动状态采集4幅不同z向位置(间距77．1 姗)的干涉条纹图像，位置的调节通过物镜纳米定位 器实现，相邻两次采样间的相位差∥2． 实验结果：利用相移的方法对干涉信号进行调制， 采用4步相移方法，相移步长为们，对得到的静态和 动态图像进行上述的运算就可得到器件离面运动的幅 值．图3为4步相移中O。相位时静态和动态时的测量． 图4频闪干涉法的测量结果 图像，从中可以清晰看出条纹对比度的变化．利用这些 测量图像可以计算得到器件在被测区域处离面运动的 4 结语 nm．与利用频闪相移干涉方法得到的运