第五章电容式传感器11.pptVIP

当被测信号为零时△C=0，振荡器有一个固有振荡频率f0 当被测信号不为零时，△c≠0，此时频率为 5.4 测量电路 1．调频电路 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 特点： 转换电路生成频率信号，可远距离传输不受干扰。 具有较高的灵敏度，可以测量高至0.01μm级位移变化量。 但非线性较差，可通过鉴频器（频压转换）转化为电压信号后，进行补偿。 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 5.4 测量电路 1．调频电路 5.4 测量电路 2．运算放大器式电路 Cx传感器电容, C固定电容 输入端 输出端 最大特点：能克服变极距型 电容传感器的非线性 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 5.4 测量电路 2．运算放大器式电路 对于单极板平板电容器传感器运放输出可以为： 结论 从原理上保证了变极距型电容式传感器的线性。这是假设放大器开环放大倍数A=?，输入阻抗Zi=?，因此实际仍然存在一定的非线性误差，但一般A和Zi 足够大所以这种误差很小。 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 脉冲宽度调制电路： 如图，该电路实际上叫做差 动脉冲宽度调制电路，又称 电容充放电电路。 （1）作用：将差动电容传感 器的输出变化信号转换成有大小和极性方向的输出 直流信号。 （2）组成：这是一个脉宽调制电路的原理图。它由 双稳态触发器；Cx1、Cx2差动电容传感器的电容； A1、A2比较器；二极管；滤波器等组成。UAB为输出 电压，Ur为参考电压。 5.4 测量电路 3．差动脉冲调宽电路 传感器原理及应用 第5章??????? 电容式传感器 3）分析： a）设双稳态触发器A端为高电平，则B端低电平 则线路通过电阻R1向Cx1充电。在充电过程中电压UF 上升，UF和参考电压Ur进行比较，当UF≥ Ur时，产 生一个触发信号，A1比较器产生一个脉冲信号激励 双稳触发器翻转，使A端成为低电平， B端成为高 电平。在翻转过程中， A端为低电平，VD1导通， 使Cx1通过VD1放电。这是 一个对Cx1充电和放电过 程。 * δδ * 传感器原理及工程应用 第5章 电容式传感器 主要内容： 5.1 电容传感器工作原理和结构 5.2 电容传感器输出的灵敏度和非线性 5.3 电容传感器的等效电路 5.4 电容式传感器的测量电路 5.5 电容式传感器的应用 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 本章重点： 掌握不同类型电容式传感器的构造原理、特性及用途。 学会分析差动式电容传感器的灵敏度、非线性误差。 掌握电容式传感器测量电路。 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 概述 电容式传感器的特点是： 结构简单，适应性强; 动态特性好; 分辨率高； 温度稳定性好； 可进行非接触测量。 传统电容式传感器主要用于位移、振动、角度、 加速度等机械量精密测量。现逐渐应用于压力、压差、液面、成份含量等方面的测量。 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 概述 电容式接近开关 电容式指纹传感器 电容式变送器 差压传感器 各种电容式传感器 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 5.1 电容传感器工作原理和类型 电容式传感器是将被测非电量变化成电容量的变化， 电容器 C 可以通过改变 A — 面积，称变面积型传感器 — 距离，称变极距型传感器 — 介质，称变介质型传感器 d A ε 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 5.1 电容传感器工作原理和类型 变极距型传感器： 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 5.1 电容传感器工作原理和类型 变面积型传感器： 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 5.1 电容传感器工作原理和类型 变介质型传感器: 传感器原理及工程应用 第5章??????? 电容式传感器 电容传感器的工作原理:被测的非电量的变化，能使电容器C中的任一参数产生相应的改变而引起电容量C的变化时，再通过测量电路，将电容C的变化转化成电流、电压、频率等信号，根据输出信号的大小，实现非电量的检测。 5.2 电容传感器输出特性 1 变极距型（d） 初始电容 当 减小 时 电容 C 增加 d ε