第五章电容感式传感器.pptVIP

概 述 电容式传感器不但广泛应用于精确测量位移、厚度、角度、振动等物理量，还应用于测量力、压力、差压、流量、成分、液位等参数，在自动检测与控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。 5.3.2 电容板材在线测厚仪 5.3 典型应用 5.3.1 电容式压力传感器 球型结构： 金属弹性膜片—动片（测量膜）；两个玻璃球面上镀有金属—定片；膜片左右两侧充满硅油。 工作过程： 两室分别承受低压PL和高压PH，硅油能将压差传递到测量膜片。 当P1 = P2时C1 = C2；膜片处于中间位置 当有差压作用时，测量膜片产生形变： P1 P2时，膜片向P2弯曲，C1 C2， P1 P2时，膜片向P1弯曲，C1 C2 P1 P2时，膜片向P2弯曲，C1 C2 因此 材料力学关系式 若电容采用脉冲宽度调制电路进行测量，可得出测量电路输出电压与压差成线性关系。 结构简单、灵敏度高、响应速度快。 工业生产自动控制中，膜片式压力计是最常用的一种，电容膜片压力传感器分为： 计示压力计（表压），绝对压力计，压差计。 计示压力计（表压） 以大气为基准，测管道、箱内、罐中压力 绝对压力计 以绝对真空为基准，测量蒸发罐、反应罐中的压力； 压差计 测两个压力的差值 绝对压力计 电容测厚仪用于测量金属带材在轧制过程中的厚度变化 带材是电容的动极板，总电容 C1+C2 作为桥臂。 带材只是上下波动时 Cx = C1+C2 总的电容量不变； 带材的厚度变化使电容 Cx 变化。 采用变压器式输出电桥电路或用集成运放电路输出。 * 传感器与自动检测技术 第五章 电容式传感器 主要内容： 5.1 工作原理 5.2 测量电路 5.3 典型应用 电容式传感器是将非电量的变化转换为电容量的变化。 传统电容式传感器主要用于位移、角度、振动、加速度 等机械量精密测量。 目前电容式传感器逐渐应用于压力、压差、液面、成份含量等方面的测量。 电容式传感器特点： 电容器容量小几十～几百微法，具有高输出阻抗; 静电引力小（极板间），工作所需作用力很小； 可动质量小,具有高的固有频率动态响应特性好； 功率小，本身发热影响小； 可以进行非接触测量。 C X 各种电容式传感器 ATM机接近开关 电容式触摸屏 测量管道液位高度 电容式压力变送器 电容式差压传感器 电容式接近开关 电容式指纹传感器 各种电容式传感器 5.1 工作原理 5.1.1 工作原理 ε d A ε：电容极板间介质的介电常数，ε=ε0·εr， ε0为真空介电常数，εr为极板间介质相对介电常数； A：两平行板所覆盖的面积；d：两平行板之间的距离。 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，其电容量为 ： 5.1.1 工作原理 固定三个参量中的两个，可以做成三种类型的电容传感器→变面积型、变间隙型、和变介电常数型。 ε d A 改变A、d、ε三个参量中的任意一个量，均可使平板电容的电容量C 改变。 变极距型传感器 变极距型传感器 变面积型传感器 变面积型传感器 变介质型传感器 5.1.1 变面积型电容传感器 结论：电容改变量与水平位移成线性关系 初始电容： 当动极板移动?x： （1）线位移变面积型 5.1.1 变面积型电容传感器 （2）角位移变面积型 结论：电容改变量与角位移成线性关系 变面积型电容传感器结论： 变面积式电容传感器输出特性为线性； 灵敏度为常数（单位面积改变引起的电容相对变化量）； 适合大位移测量。 5.1.2 变介质型电容传感器 各种介质的相对介电常数不同，所以电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。 变介电常数式电容传感器与传感器结构有关， 测介质厚度 (纸张、薄膜厚度）_图a 测介质位移（介质位置变化）_图b 测介质材料（介电常数，如介质材料、液位)_图c 测温、湿度、容量（粮仓、木材湿度）_图d 平板结构 圆筒结构 5.1.2 变介质型电容传感器 1、平板结构 A1 A0 电容串联 未加介质时： 电容增量与介电常数非线性 电容并联 未加介质时： 电容增量与介电常数线性 5.1.2 变介质型电容传感器 结论：电容增量与被测液位的高度成线性关系 2、圆筒结构 5.1.3 变极距型电容传感器 简化： 结论：电容增量与极距近似成线性关系 灵敏度不同 d0 5.1.3 变极距型电容传感器 极板间可采用高介电常数的材料（云母、 塑料膜等）作介质 一般极板间距在25～200um范围内，而最大位移应小于间距的十分之一，因此这种电容式传感器主要用于微