基于CMOS集成电路工艺的风速风向测定仪.docVIP

2013-2014第（2）学期理学院实践教学 成 绩 评 定 表 实践教学项目 光电成像原理与技术课程设计 专 业 信息显示与光电技术 学生姓名 陈新伟 班级学号 1109040109 评 语 组长签字: 成绩 日期 2013-2014第（2）学期理学院实践教学 任 务 书 学 院 理学院 专 业 信息显示与光电技术 学生姓名 陈新伟 班级学号 1109040109 实践教学项目 光电成像原理与技术课程设计 实践题目 基于CMOS集成电路工艺的风速风向测定仪 实践教学要求与任务: 能对选题做理论分析，讨论理论可行性。 2．能设计一套切实可行的实验方案，能够验证预期达到的效果。 3．如果数据处理结果不够理想，能够找到问题所在，并提出改进意见。 4．能按要求格式撰写课程设计报告。报告要求格式、正确思路清晰、结构完整、实验数据真实、分析结论正确。对课程设计总体方案要进行详细地说明 5．独立按时完成规定的工作任务，不得弄虚作假，不准抄袭他人内容。 6．在设计过程中，要严格要求自己，树立严肃、严密、严谨的科学态度，必须按时、按质、按量完成课程设计。 工作计划与进度安排: 17周周一—17周周四：选题、收集资料 17周周五—18周周五：撰写开题、报告设计、实验、数据分析 19周周一—19周周四：撰写报告、 19周周四提交报告。 指导教师： 年 月 日 专业负责人： 年 月 日 学院院长： 年 月 日 摘要 随着集成电路制造工艺技术的发展和集成电路设计水平的不断提高，基于CMOS集成电路工艺技术制造的CMOS传感器有集度成高、功耗低、工艺简单、成本低且精度高的优点，目前在很多领域有广泛的应用。 本文介绍了一种基于CMOS(互补 MOS)集成工艺制作的风速风向传感器，该传感器在有风吹过它的表面时能同时测量风速和风向。在本文的后半部分还阐述了CMOS 硅热流量传感器的工作原理和结构，介绍了传感器的驱动电路和信号读取电路。经过测试，传感器能够测量的风速为0～23m/s，且具有良好的线性度和灵敏度。 关键词：CMOS； CTD模式； 热损失 目录 一、绪论 1 二、CMOS传感器结构和工作原理 2 三、CMOS传感器的驱动及信号获取 4 3.1 CTD控制式驱动电路 4 3.2信号获取电路 4 四、测试结果 6 五、总结 7 参考文献 8  一、绪论 近年来，各种微型化的热流量传感器不断见诸报道。这些器件常常基于这样两种原理 ：(1)热导线或热薄膜型，由一个热敏电阻导线或者薄膜构成热丝 。 在其中耗散一定的功率，使导线或薄膜的温度高于周围环境温度，当风吹过传感器表面时，导线或薄膜温度会由于强迫对流冷却而降低。温度的降低影响电阻的阻值，利用惠斯登电桥可以得到与风速相关的输出信号。这种风速计只能测量风速，而不能测量风向；(2)热温差型这种风速计通过测量两个垂直方向的热堆差模信号温差， 通过恒定功率(CP)或者恒温差(CTD)模式来控制芯片，可以同时获得风速和风向的信息。本文根据这种风速计的测量原理，设计了一个风速计结构，并结合了热导线风速计测量风速及温差型可测方向两种测量方式的优点，给出了一个可同时得到风速和风向的测试方案。 二、 CMOS传感器结构和工作原理 本文描述的CMOS风速风向传感器的表面经过加热，中心温度高于环境一定数值，在有风吹过传感器表面时会对表面不均匀冷却，在风速的影响下传感器表面风的方向的上游和下游会产生一个温度梯度。通过测量中心对称点A，B处的温差来决定风速的大小。当风向反向时,输出信号同样改变符号，这样也能得到一维的风向信息。通过二维垂直对称的结构，能够得到360度的风向。传感器差模温度变化原理如图 1所示 。 图1 温度变化原理图 风速计采用闭环控制，芯片表面温度高于周围温度恒定的数值。通过测量垂方向上的对称温差△Tx和 △Ty，能够同时得到风速和风向信息。垂直方向的热堆输出差模信号分别为: （1）