滚转角测量中直角棱镜相位损失及解决方法.pdfVIP

第48卷第9期 西 安 交 通 大 学 学 报 V01．48NO．9 OFXI’AN UNIVERSITY 2014年9月 JOURNAL JIAOTONG Sep．2014 DOI：10．7652／xjtuxb201409019 滚转角测量中直角棱镜相位损失及解决方法 李朝辉1，王昭1，黄军辉1，汤善治2，郭俊杰2 (1．西安交通大学机械工程学院，710049，西安；2．陕西恒通智能机器有限公司，710049，西安) 摘要：在利用正交偏振光外差干涉相位法测量数控机床滚转角误差的过程中，发现反射元件直角 棱镜造成的相位损失对系统分辨率产生了不可忽略的影响，通过琼斯矩阵运算，量化了该相位损失 对实验结果的影响，并进行了实验验证；同时，针对相位损失问题，提出了基于高反膜相长干涉原理 的解决方法。结果表明：直角棱镜引入的相位损失使测量系统在灵敏区的放大倍数降低了 40．7％，而基于平面反射镜的解决方案基本消除了相位损失对测量系统分辨率的影响；滚转角误差 引起的相位变化幅度由原来的55．8。上升到使用平面反射镜时的349．2。，与参考实验数据358．5。 的变化幅度十分接近，从而证明了应用高反膜相长干涉原理解决相位损失问题的可行性。该原理 和方法同时为解决全反射导致的光学相位变化问题提供了理论依据和解决思路。 关键词：滚转角；直角棱镜；相位损失；相长干涉；平面反射镜 中图分类号：TH741．2文献标志码：A 文章编号：0253—987X(2014)09—0112—05 PhaseLossof PrisminRoll Measurement Right-Angle Angle andItsSolution LIZhaohuil，WANGZha01，HUANGJunhuil，TANGShanzhi2，GUO Junjie2 (1．SchoolofMechanical 710049，China； Engineering，Xi’anJiaotongUniversity，Xi’an 2．Shaanxi MachinesCo．Ltd．，Xi’an710049，China) HengtongIntelligent the affectstheresolutionofthe Abstract：Thelosscaused phase by right—angleprismseriously onthe interferencemethod．Theinfluencewas roll measurementbased angle system extrapolation with matrixandthen verified．Aschemebasedonthe Jones experimentally quantified constructiveinterferenceofthe filmswasalso tosolvethis high—reflection proposed problem。The resultsindicatedthatthe factorint