薄膜导热系数的测量方法和技术.pdfVIP

助 锨 材 料 薄膜导热系数的测量方法及技术’ 王伟伟，张 敏，李凌智，柳清菊 (云南大学云南省高校纳米材料与技术重点实验室，云南昆明650091) 摘要： 随着微型机电系统及集成电路的发展，器件 就得到了所谓的3∞电压(故该方法被称为“3∞法”)。 中大量使用了微米、纳米量级厚度的薄膜，对其导热系 图1为3∞法测量薄膜导热系数原理图。 数测量的研究有助于器件的设计和热优化工作。综述 金属线． 了当前几种测量薄膜导热系数的主要方法及技术，分 宽26、o流电漉帮 析了各自的优点及不足，并对其以后的发展趋势做了 简要分析。 耳西 关键词：薄膜；导热系数；测量 热流川llll 中图分类号：0484．5 文献标识码：A Illllll 文章编号：1001-973l《2010)05—0870-04 基鹿 薄膜(导热系数厶) 1 引 言 图1 3∞法测量薄膜导热系数原理图 1Schematicofthethermal Fig diagram 薄膜材料被广泛应用在微电子、光电子和MEMS measurement the30Jmethod 等领域中。随着计算机的超小型和高集成化，薄膜的 systemusing 样品中产生的温度波动△T(∞)为： 导热性能直接影响元器件的热噪声，进而对其可靠性 和使用性能也会有明显的影响，集成电路中的散热问 ‰净麦J。面氙券篆面≯+恭 题就成为计算机微型化的关键之一。因此薄膜导热系 (1) 数的测量日益被关注，促使了测量和预测薄膜传热性 式中，A，为薄膜的导热系数；A。为用来生长薄膜的 能的新实验技术和分析模型的发展，并推动了微细尺 度传热领域的迅速发展。 为： 2 研究现状 当薄膜的膜厚或薄膜的分子粒径及孔洞孔径与材 (2) 料中的热载子(分子、电子、声子或光子)的平均自由程 式中，D。为热扩散系数；P为每单位长度金属线 处于相同或更小的数量级上时，导热系数不再是材料 上外加的功率。△T(cc，)可以由下式获得： 的一个固定的热物性参数口]，它与温度、薄膜的微观结 构、薄膜的厚度密切相关，而且用不同的淀积方法制备 AT(叫)=等 (3)