硅片生产工艺技术流程1.docVIP

顺大半导体发展有限公司太阳能用 硅单晶片生产技术 目 录 一、硅片生产工艺中使用的主要原辅材料 1、拉制单晶用的原辅材料，设备和部件： 2、供硅片生产用的原辅材料，设备和部件： 二、硅片生产工艺技术 1、硅单晶生产部 （1）、腐蚀清洗工序生产工艺技术 对处理后原材料质量要求 （2）、腐蚀清洗生产工艺流程 ① 多晶硅块料，复拉料和头，尾料处理工艺流程 ② 边皮料酸碱清洗处理工艺流程 ③ 埚底料酸清洗处理工艺流程 ④ 废片的清洗处理工艺流程 （3）、硅单晶生长工艺技术 （4）、单晶生长中的必备条件和要求 ① 单晶炉 ② 配料与掺杂 （5），单晶生长工艺参数选择 （6）、质量目标： （7）、硅单晶生长工艺流程 2、硅片生产部 （1）、硅片加工生产工艺技术 （2）、硅片加工工艺中的必备条件和要求 ① 切割机 ② 切割浆液 （3）、质量目标 （4）、硅片加工工艺技术流程 ① 开方锭生产工艺流程 ② 切片生产工艺流程 （5）、硅片尺寸和性能参数检测 前 言 江苏顺大半导体发展有限公司座落于美丽的高邮湖畔。公司始创生产太阳能电池用各种尺寸的单晶和多晶硅片。拥有国内先进的拉制单晶设备104台，全自动单晶炉112台。年产量可达到××××吨。拥有大型先进的线切割设备×××台。并且和无锡尚德形成了合作联盟（伙伴），每×可以向尚德提供×××硅单晶片。同时河北晶于2004年，占地面积××××。公司现在有×××名员工， 从事澳、南京等光伏组件公司都和顺大形成了长年的合作关系。为了公司的进一步发展，扩大产业链，解决硅单晶的上下游产品的供需关系，2006年在扬州投资多晶硅项目，投资规模达到××亿。工程分两期建设，总规模年产多晶硅6000吨。2008年底首期工程已经正式投入批量生产，年产多晶硅×××吨。 太阳能用硅片生产工艺十分复杂，要通过几十道工序才能完成，只有发挥团队精神才能保证硅片的最终质量。编写该篇壮大资料的目的：首先让大家了解整个硅片生产过程，更重要的是让各生产工序中的每一位操作人员明确自己的职责，更自觉地按操作规程和规范做好本职工作，为顺大半导体发展有限公司的发展，尽自己的一份力量。 一、 硅片生产工艺中使用的主要原辅材料和设备 1 、拉制单晶硅生产部 （1）、供单晶生产用的原辅材料质量要求和验收： 1）原料：多晶硅，边皮料，锅底料，复拉料（包括头尾料）以及废硅片料等组成。 拉直太阳能电池硅单晶用的原材料纯度，质量以及决定太阳能电池的性能和转换效率。为此，对多晶硅等原材料来源，纯度，外观形貌和后处理工序中物料洁净处理质量等因应具有严格的要求并制定出相应的厂内标准。 原料，特别是多晶硅进厂时应按下列程序进行验收：产品厂家，产品分析单，包装袋有无破损。 自家公司采用西门子法生产的多晶硅，经实际应用证明，具有比较高的纯度，质量可靠。 边皮料，锅底料，复拉料，头尾料以及废片料等均来自本单晶和硅片各生产工序。进洗料库时，应按如下所列要求进行检查和验收。 表1 对原材料质量要求 检查 原料 质 量 要 求 来 源 内在质量 外 观 多晶硅 电阻率：N型≧ 50Ω.cm P型：≧50Ω.cm 银灰色，表面无氮化硅膜，硅芯与晶体生长成一体 顺大公司 边皮料 质量与单晶相似 是否会有粘胶存在 开方整形的下脚料 锅底料 按电阻率分档 有无石英渣及夹杂物 单晶生产工艺 复拉料 头尾料 质量与单晶相似 表面有无污物 单晶生产工艺 废片料 质量与单晶相似 有无砂浆表面夹杂物 切片工艺 · 辅助材料： 用于腐蚀清洗硅原料和单晶棒料的化学试剂以及掺杂剂（杂质元素）等质量要求如表2所示： 表 2 化学试剂的质量要求 要求 名称 质量要求 状态 备注 HF（氢氟酸） 分析纯 液态 安全存放 HNO3（硝酸） 分析纯浓度＞55% 液态 安全存放 KOH（氢氧化钾） 分析纯 液态或固态 安全存放 NAOH（氢氧化钠） 分析纯 液态或固态 安全存放 无水乙醇 分析纯 液态 安全存放 (2)、供单晶生产需要的主要部件： ·籽晶与籽晶夹头：由两种材料制成。 表3 籽晶与籽晶夹头的材质和尺寸 部件名称 材 料 尺寸（mm。） 来 源 籽晶 无位错硅单晶 100χ100χ130 外协加工 自加工 φ170.5χ150 籽晶夹头 金属钼 根据籽晶尺寸定 外协加工 高纯高强度石墨 根据籽晶尺寸定 外协加工 籽晶在使用前需要经过5；1HF和HNO3混合液轻腐蚀， 清洗，烘干后用塑料袋装好备用。籽晶需要延续用多次时，表面有污物，需要腐蚀时，只能腐蚀籽晶下部，以免改变固定夹头部的尺寸。 ·对石墨，碳毡等材料的主要部件： 对石墨，