二氧化锡薄膜的电阻气敏和光透射率气敏性能-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 二氧化锡薄膜 的 电阻气敏和光透射率气敏性 能 林殷 茵 , 汤庭 鳌 , 黄维 宁 , 姜 国宝 , 姚 熹 上 海 复旦 大 学 电子 工程 系微 电子 所 , 上 海 西 安 交 通 大 学 电子 材 料研 究所 , 西 安 搞 要 以无机盐为原料 , 采用新颖 的溶胶 一 凝胶工艺制备 了具有优 良电阻一 气敏性能 的纳 米 晶二氧化锡薄膜 , 其在最佳工作温度 对 的灵敏度可达 , 响应 时间和 恢复时间分别为 和 进 一步研 究 了薄膜 的光透射率 一 气敏性能 , 发现 当通 时, 透 射率下降, 最佳工作温度与 电阻 一 气敏性能一致 , 当提高薄膜 的退火温度 时, 电阻 一 气敏和光 透射率 一 气敏 的灵敏度均下 降 分析 了产生这些现象 的原 因 一 关 扭 词 薄膜 , 二氧化锡 气敏 透射率 , 溶胶 凝胶 中图分类号 文献标识码 引言 二氧化锡气敏材料主 要 有薄膜 型 、 厚膜 型 和 烧结 型 由于 薄膜 型 气敏材料在 低 功耗 、 低温化 、 小型化 、 集成化方面 具有优 势 , 近年来 国 内外对 于 薄膜 型 气敏材料 的研 制开 发都 、 很重视 川 多种薄膜沉积技术被用来制备二 氧化 锡 薄膜 , 如磁控反 应溅射 化学气相沉 积 、 物理气相沉积 、 热解 喷涂 ’ 、 射频反 应溅射 、 溶胶 一 凝胶 等 , 但 是从文献报 , 道 的情况 来看 , 这 些方法制备 的二 氧化锡薄膜对 气体 的灵 敏度 比较低 响应和 恢复 时间也 比较 长 , 气敏性 能普遍 不是很 理 想 , 这主 要 是 因为作为气敏 薄膜 , 对 其结构 有相 应 要 求 , 比如 晶粒尺 寸 比较 小, 比表 面 积 比较 大 , 此 外贵金属 添 加 剂 的掺 杂对 于 气敏性 能 的