行业标准电子薄膜用高纯钴溅射靶材.docVIP

前 言 本标准是根据近年来电子薄膜制造技术的日趋成熟，首次制定。 本标准由全国有色金属标准化技术委员 本标准起草单位：宁波江丰电子材料有限公司。 本标准主要起草 电子薄膜用高纯钴溅射靶材 范围 本标准规定了溅射靶材的要求、方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单合同。 本标准适用于用的各类溅射靶材（以下简称靶）。 规范性引用文件 凡是注日期的引用文件，GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则 YS/T 溅射靶材-背板结合质量超声波检测方法 要求 表靶材化学成分表 简称 5N 杂质含量，不大于，10-6 Ag 1 Al 4.5 As 5 Ca 2 Cd 1 Cl 1 Cr 1 Cu 1 Fe 6 K 0.1 Li 0.1 Mg 2 Mn 1 Mo 1 Na 0.2 Ni 6 Pb 1 S 10 Sb 1 Si 4.5 Ti 2 W 1 Zn 5 Zr 1 气体杂质含量，不大于，10-6 O 155 N 20 C 75 杂质总含量，不大于（不包含C、H、O、N），% 0.001 注：客户对元素有要求的，内部质量 不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷几何尺寸 高纯钴靶表面应清洁光滑，无指痕，无油污和锈蚀应无拉伸润滑痕迹，颗粒附加物和其它沾污应无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷验方法 成分 金属杂质元素、F、S、P的分析方法按照YS/T 281钴化学分析方法标准执行。 气体元素H、O、N、C的分析方法按照GB/T 14265 金属材料中H、O、N、C和S分析方法通则标准执行。 高纯钴靶内部质量的检验按GJB 1580A规定进行。 高纯钴靶焊合质量的检验按YS/T***溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 标准进行。 尺寸检测方法 电子薄膜用高纯钴靶的几何尺寸通过三维坐标测定仪（CMM），按照加工图纸标识尺寸进行测定外观质量用数码显微镜。 检验规则 检验和验收 产品应由供方检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准（或订货合同）的规定，并填写质量证明书。 需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准（或订货合同）的规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方共同进行。 组批 检验项目 高纯钴靶出厂必须进行全面检测。检项目、应表。表检测项目、及检验项目 成分检查 3.1 4.1.2 内部质量 焊接前 逐件 3.3 4.2 焊接质量 焊接后 逐件 3.4 4.3 几何尺寸 成品 逐件 3.5 4.4 外观质量 成品 逐件 3.6 4.5 包装质量 成品 逐件 6.2 4.5 检验结果判定 晶粒度抽检合格，判同批产品全部合格；抽检不合格时，判该件不合格；再从同批产品中加倍抽样进行复检，若复检全部合格，判该批其余产品合格；若复检不合格，则判整批产品不合格。 内部质量检测、焊接质量检测、尺寸检测、外观质量检测不合格时，判该件产品不合格。 包装质量不合格时，判该件产品不合格，可进行再次包装。 标志、包装、运输、贮存、 标志在检验合格的靶材上，将公司标志、成分及生产批号在产品定位置。在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括： 制造厂名厂址标志产品名称客户名称订单编号包装 。 包装产品应保存于清洁的环境中。 运输与贮存 运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压、防止二次污染。 质量证明书 每批产品应附有质量证明书，注明：供方名称； 产品名称； 订货单（或合同）内容 订购本标准所列产品的订货单（或合同）内应包括下列内容： 产品名称；靶材纯度；化学成分、物理性能、表面质量等特殊要求；规格；数量；标准编号；其他需要协商或增加标准以外要求的内容。 GB/T ××××—×××× GB/T ××××—×××× 1 YS/T ××××—×××× YS/T ××××—×××× I 4 3 发布 中华人民共和国工业和信息化部 ××××-××-××实施 ××××-××-××发布 电子薄膜用高纯钴溅射靶材 High-Purity Sputtering Cobalt Target used in Electronic Film （讨论稿） 2012.03.25 YS/T ××××—×××× 中华人民共和国有色金属行业标准 ICS H YS