微硅狭缝紫外可见光谱仪杂散光的产生与抑制-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ４ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．４ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ４ Ａ ｒ．２０１１ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０４０７３７０６ 　 微硅狭缝紫外 可见光谱仪杂散光的产生与抑制  ， １２ １ １ 黎海文 ，郝 鹏 ，吴一辉 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 苏州生物医学工程技术研究所，江苏 苏州 ２１５６１３）） 摘要：采用 技术，研制了一种基于微硅狭缝的紫外 可见光谱仪。介绍了该光谱仪的系统组成，分析了其杂散光 ＭＥＭＳ  的产生原因，着重讨论了光谱仪的关键部件 微硅狭缝的直线度、厚度与杂散光之间的关系，并对狭缝直线度产生的杂散  光进行了实验验证。针对以卤钨灯为光源的紫外 可见光谱仪进行测量时，紫外部分能量低，杂散光严重的问题，提出一  种组合滤光片法，通过在入射狭缝前和探测器前增加双重滤光片，平衡紫外 可见光范围内各谱段的光波强度，抑制紫外  波长处杂散光的影响。实验结果表明：采用组合滤光片法抑制杂散光后，杂散光降低为抑制前的２３％。 关 键 词：紫外 可见光谱仪；杂散光；滤光片；微硅狭缝  　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ Ｏ４３３．１ＴＨ７４４．３ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０７３７ 　　 　　 犌犲狀犲狉犪狋犻狅狀犪狀犱狊狌 狉犲狊狊犻狅狀狅犳狊狋狉犪 犾犻犺狋犻狀犝犞狏犻狊 狆狆 狔 犵 狊犲犮狋狉狅犿犲狋犲狉犫犪狊犲犱狅狀犿犻犮狉狅狊犻犾犻犮狅狀狊犾犻狋 狆 ， １２ １ １ ， ， ＬＩＨ