热拉伸和化学腐蚀相结合制备弯曲光纤探针中国科技论文在线.PDFVIP

第 52 卷 第 5 期 2003 年 5 月 物 　理 　学 　报 Vol. 52 ,No. 5 ,May ,2003 ( ) 10003290200352 05 119006 ACTA PHYSICA SINICA 2003 Chin. Phys. Soc. 热拉伸和化学腐蚀相结合制备 弯曲光纤探针 徐 　凯 　潘 　石 　吴世法 　孙 　伟 　李银丽 (大连理工大学物理系 ,大连　116024) ( ) 2002 年 8 月 7 日收到;2002 年 9 月 9 日收到修改稿 ( ) 　　提出了原子力光子扫描隧道显微镜 AFPSTM 系统的关键部分 ———双功能弯曲光纤探针的制作方法. 采用热 拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合的方法制作出 AFPSTM 弯曲光纤探针 ,弯曲角度约为 150°,尖端曲率半径优 于 100nm ,锥角范围为 60°—90°. 将这种双功能弯曲光纤探针应用在新研制的 AFPSTM 系统上 , 同时获得了样品的 光学与形貌图像 ,实现了图像分解. 关键词 : 原子力光子扫描隧道显微镜 , 光纤探针 , 热拉伸 , 化学腐蚀 PACC : 4281P , 0760P , 0779 ,6116P 品形貌三维图像. 1 引 言 扫描显微镜的空间分辨能力与探针的尖端曲率 半径直接相关 ,半径越小 ,分辨能力越好 ,尖端的圆 纳米显微技术是纳米高科技领域里的一项重要 锥角不宜过小 ,太小了会影响光纤尖端的光导耦合 成像技术. 1991 年 ,Ferrel 等[1 ] 申请到一项美国发明 与传输效率 ,光纤探针端头渐细区直径小于激光波 ( ) 专利 ,名为光子扫描隧道显微镜 PSTM ,它是一种 长的区域应尽量短 ,避免产生过大的阻尼传输. 目 特殊形式的近场光学显微镜 ,可以突破常规光学显 前 ,国内外关于光纤探针的制作方法主要有热拉伸 [2 ] [6 —11 ] 微镜衍射分辨极限 , 实现纳米级分辨光学成像 . 法与化学腐蚀法两种 ,但都是关于直头光纤探 1993 年 6 月 ,本课题组与中科院北京电子显微镜研 针的制作方法 ,关于弯曲光纤探针的制作方法尚未 究室联合 ,成功研制了国内第一台 PSTM[3 ] ,并通过 [6 ] 见报导. 由热拉伸法 制出的光纤探针尖端锥角小 , 了由王大珩、干福熹、郭可信等院士参加的鉴定. 扫 过渡区细长 , 传