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直拉法晶体生长过程非稳态流体热流耦合.PDF
直拉法晶体生长过程非稳态流体热流耦合
黄伟超 刘丁 焦尚彬 张妮
Thermo-fluidcouplingofunsteadyflowinCzochralskicrystal growth
HuangWei-Chao LiuDing JiaoShang-Bin ZhangNi
引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,208102(2015) DOI: 10.7498/aps.64.208102
在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.208102
当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I20
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物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 64, No. 20 (2015) 208102
直拉法晶体生长过程非稳态流体热流耦合
黄伟超 刘丁 焦尚彬 张妮
1) (西安理工大学, 晶体生长设备及系统集成国家地方联合工程研究中心, 西安 710048)
2)(陕西省复杂系统控制与智能信息处理重点实验室, 西安 710048)
( 2015 年5 月19 日收到; 2015 年6 月18 日收到修改稿)
为了改善复杂对流形态下的晶体生长品质, 提出了一种改进的格子Boltzmann 方法研究非稳态熔体流动
和传热的耦合性质. 该方法基于不可压缩轴对称D2Q9 模型, 构建了包含旋转惯性力和热浮力等外力项的演
化关系, 实现了对轴对称旋转流体的速度、温度和旋转角速度的计算与分析. 结果表明, 非稳态熔体中的流、
热耦合性质与格拉斯霍夫数和雷诺数的相互作用有关; 通过调节高雷诺数, 可有效抑制熔体中的自然对流, 改
善温度分布, 有助于提高单晶的品质. 数值计算结果与实际硅单晶生长试验均证明了所提方法
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