压电式传感器知识点.PDFVIP

第6 章 压电式传感器 第6章 压电式传感器(知识点) 知识点1 压电效应 所谓压电效应，就是对某些电介质沿一定方向施以外力使其变形时，其内部将产生极化 而使其表面出现电荷集聚的现象，也称为正压电效应，是机械能转变为电能。 当在片状压电材料的两个电极面上加上交流电压，那么压电片将产生机械振动，即压电 片在电极方向上产生伸缩变形，压电材料的这种现象称为电致伸缩效应，也称为逆压电效应。 逆压电效应是将电能转变为机械能。 压电式传感器是典型的有源传感器。 压电式传感器的用途：主要用于与力相关的动态参数测试，如动态力、机械冲击、振动 等，它可以把加速度、压力、位移、温度等许多非电量转换为电量。 知识点2 压电材料 (1)石英晶体 （单晶体） 石英晶体的化学成分是SiO，是单晶结构，理想形状六角锥体，如图6.1(a)所示。石2 英晶体是各向异性材料，不同晶向具有各异的物理特性。用X、Y、Z轴来描述。 Z轴：是通过锥顶端的轴线，是纵向轴，称为光轴，沿该方向受力不会产生压电效应。 X轴：经过六棱柱的棱线并垂直于Z轴的轴为X轴，称为电轴 （压电效应只在该轴的两 个表面产生电荷集聚），沿该方向受力产生的压电效应称为 “纵向压电效应”。 Y轴：与X、Z轴同时垂直的轴为Y轴，称为机械轴 （该方向只产生机械变形，不会出 现电荷集聚）。沿该方向受力产生的压电效应称为 “横向压电效应”。 图6.1 石英晶体 如果从晶体上沿Y轴方向切下一块晶片，如图6.1(c)所示。分析其压电效应情况： 1)沿X轴方向施加作用力 将在YZ平面上产生电荷，其大小为： q d f （6.1） x 11 x 式中： 122 传感器与检测技术 （第2 版） d －X方向受力的压电系数； 11 fx －X轴方向作用力。 q f 电荷 的符号视 为压力或拉力而决定。从式 （6.1）可见，沿电轴方向的力作用于晶 x x q 体时所产生电荷量 的大小与切片的几何尺寸无关。 x 2）沿Y轴方向施加作用力 仍然在YZ平面上产生电荷，但极性方向相反，其大小为： a a q d  f d  f （6.2） y 12 b y 11 b y 式中： d12 －Y方向受力的压电系数 （石英轴对称，d12 d11 ）； a －切片的长度 b －切片的厚度 fy －Y轴方向作用力。 从式 （6.2）可见，沿机械轴方向的力作用于晶体时产生的电荷量大小 与晶体切片的 qy 几何尺寸有关。 3）沿Z轴方向施加作用力 不会产生压电效应，没有电荷产生。 （2）压电陶瓷 （多晶体） 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。其内部的晶粒有一定的极化方向，在无外电场 作用下，晶粒杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此压电陶瓷此时呈中性，即原始的 压电陶瓷不具有压电性质 （如图6.5(a)所示）。 当在陶瓷上施加外电场时，晶粒的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向排列，从而 使材料整体得到极化。外电场愈强，极化程度越高，让外电场强度大到使材料的极化达到饱 和程度，即所有晶粒的极化方向都与外电场的方向一致，此时，去掉外电场，材料整体的极 化方向基本不变，即出现剩余极化，这时的材料就具有了压电特性 （如图6.5(b)所示）。由 此可见，压电陶瓷要具有压电效应，需要有外电场和压力的共同作用。此时，当陶瓷材料受 到外力作用时，晶粒发生移动，将引起在垂直于极化方向（即外电场方向）的平面上出现极 化电荷，电荷量的