超声振动对单晶硅锯切比能的影响-论文.pdfVIP

第2５卷　 第 1期 材　 料　 科　 学　 与　 工　 艺 Vol.2５ No.1 　 　 2０ 17年2月 MATEＲIALＳ ＳCIENCE ＆ TECHNOLOGY Fｅｂ. 2０17 　 　 　 　 　 　 ｊ.issn － DOI：1０.11９５1／ .1００５ ０2９９ 超声振动对单晶硅锯切比能的影响 陈剑彬，沈剑云，王江全，徐西鹏 （华侨大学 机电及自动化学院，福建 厦门３６1０21） 摘　 要：超声振动能很好地改善硬脆性材料的加工性能，为了探索超声振动锯切比能对单晶硅的影响，本文采用