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水解反应温度对溶胶一凝胶51增透膜光学性能的影响
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水解反应温度对溶胶 凝胶
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制备 高激光损伤 闪值溶胶 凝胶二 化硅增透膜的工 艺中 水解反应温度对 膜溶
摘 要 在 氧 镀
胶 的形 成和 膜 的光 性能都有很大影响 本文较为详细地研 究了这一重要工艺参数对
薄 学 镀
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膜溶胶 的颖拉度 分 性 稳定性 的影 及它对 膜增透效果的影
散 响 薄 响
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关键词 反应温度 溶胶 凝胶 工艺 二氧化硅增透膜 光学性能
引言 实验
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溶胶 凝胶法 被认为是具有极大潜 正硅 乙
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