上海EBIT光谱仪器的模拟及调试Simulation and debugging of EBIT spectral instrument in Shanghai.pdf

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2017-12-11 发布于山东
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上海EBIT光谱仪器的模拟及调试Simulation and debugging of EBIT spectral instrument in Shanghai

博学而笃志，切问而近思指导小组成员 R oger H 叭 on 教授邹亚明教授目录中文摘要英文摘要第一章引言 L l 背景 1.2 E B IT 工作原理 L 3 论文框架简介第二章上海EB IT 光谱学实验平台 2.1 M ep herson N o v A 225型真空紫外单色仪简介 2.2 平焦场谱仪简介 2 :2 1 变栅距光栅 2.2.2 从光程函数出发设计变栅距光栅的过程 2.2.3 上海 E BIT 平焦场谱仪及控制系统简介 10 2.2.3.1 谱仪系统的技术指标 l0 2.2.3.2 谱仪系统的设备构成 11巧110343 第三章光学模拟软件简介 3.1 光学设计软件 Z E M A X 简介 3.2 光学设计软件 B R A Y 简介第四章上海 E B IT 光谱仪器的模拟及调试 4.1 M eph ers。n N O VA 225 型真空紫外单色仪的超环面镜设计 l5 4.2 平焦场谱仪的光学模拟 l7 4 .2.1 变栅距光栅刻制参数的计算 17 4.2.2 平焦场谱仪的光学模拟 18 4.3 平焦场谱仪的离线校刻 19 4 .3.1 平焦场谱仪校刻 I 19 4 .1 2 平焦场谱仪校刻 n 2 0 4.3.3 平焦场谱仪校刻 n l 2 4 4 .3.4 平焦场谱仪校刻 W 2 5 4.4 平焦场谱仪新的校刻方法 2 7 第五章论文小结 3 0 附录附录一上海 E B IT 球面镜图纸 3 1 附录二上海 E B IT 超环面镜图纸 3 2 附录三上海 E BI T 超环面镜研制与检测报告