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丝网、分测故障检修参考 故障现象 原因分析 解决方法 一道吸碎硅片 ① CDA有时不够稳定 ②CDA吹气的阀岛有脏阻现象 ③两侧风刀或吹气管道脏阻 ④两侧风刀吹飘片子 ①调整吹气调节阀 ②清洁阀岛、吹气管道和吹气调节阀等，必要时更换 ③清洁两侧风刀或吹气管道 ④调整风刀的吹气方向及吹气调节阀大小 一道连吸多片 ①风刀吹气太小 ②风刀没有吹开顶面的片子 ③上料盒内硅片顶面过高， ④两侧风刀出气口过低 ①适当调大吹气调节阀 ②调整风刀的吹气方向 ③调整两侧对射光纤头的上下位置 ④调整风刀的吹气口方向 行走臂上下电机报警 ①电机转动不灵活或卡住 ②上下位置出错 ③行走臂上下不灵活或卡住 ④行走臂辅助汽缸失灵 ⑤elmo卡程序出错或损坏 ①更换电磁抱闸；电机绕组短路，需更换 ②调整参数；紧牢编码器转轴螺丝；齿带绷紧或更换 ③齿轮箱内碎片清理，加润滑脂，必要时更换齿轮 ④调节气压大小，必要时更换 ⑤重新导入程序或更换elmo卡 转盘报警 ①圆光栅头位置偏移 ②圆光栅尺位置有偏差 ③转盘转动时受外力卡住 ④转盘本身转动不灵活或卡死 ⑤elmo卡程序出错或损坏 ①重新调整，确保指示灯常绿（原点除外），必要时更换 ②调整圆光栅尺一周，确保光栅头绿色指示灯常绿（原点除外） ③紧牢顶杆低端螺丝；调整与顶杆低端靠近的接近开关位置 ④拆下转盘的转子， 轴承清洗、上润滑油 ⑤重新导入程序或更换elmo卡 行走臂直线电机报警 ①电机滑块摩擦力较大 ②行走臂滑块摩擦力较大 ③电机位置超出上下限 ④elmo卡程序出错或损坏 ⑤电机线圈短路烧毁 ①用酒精清洁后，给导轨、滑块加适量的导轨油，必要时更换 ②用酒精清洁后，给导轨、滑块加适量的导轨油，必要时更换 ③重新设置原点参数或上下限参数 ④重新导入程序或更换elmo卡 ⑤更换直线电机 烘箱机械手上下电机报警 ①电机上下受阻，摩擦力较大 ②电机动作超限 ③行走臂向上动作时阻力较大 ④烘箱温度过高 ⑤elmo卡程序出错或损坏 ⑥双作用气缸实效、气压偏小或损坏 ①给导轨、滑块加润滑油，必要时拆下更换 ②调整参数 ③调整双感应气缸CDA大小，必要时更换 ④调大烘箱前面顶部的排风量 ⑤重新导入程序或更换elmo卡 ⑥调节好双作用气缸，必要时更换 烘箱夹碎 ①夹爪磨损、变形 ②夹爪夹取硅片时过紧或过松 ③硅片被夹取时动作较大产生碰撞 ④托盘不在合适的位置 ⑤托盘两侧的链条前后位置不适当 ①更换新的夹爪 ②适当调整夹爪闭合时的参数 ③调整夹爪参数，确保抓取时夹爪内侧碰不到或轻触硅片 ④调整托盘两侧边的调节挡板 ⑤调整托盘两端链条两侧的调节档块 卸载顶杆顶碎硅片 ①顶杆变形 ②顶杆的底盘变形 ③顶杆的顶部不水平 ④顶杆的上端面不平滑 ⑤台面真空释放缓慢 ⑥顶杆电机线圈烧毁 ⑦顶杆电机滑块损坏 ⑧elmo卡程序出错或损坏 ①校正顶杆，必要时更换 ②校正底盘，必要时更换 ③打磨顶杆，必要时更换顶杆和底盘 ④用细纹路的锉子挫平 ⑤延长真空释放时间；台面清洗，电磁阀阀芯清洗，必要时更换 ⑥更换直线电机 ⑦更换电机滑块 ⑧重新导入程序或更换elmo卡 印刷上下刮刀报警 ①电机过载发烫 ②电机上下摩擦力较大或被卡住 ①调整参数，使刮刀不要超过行程范围 ②清洁导轨和滑块，必要时更换 烘箱链条不旋转，有时电机报警 ①电机轴销磨损或电机损坏 ②电机减速箱损坏 ③链条位置不正确， ④左侧下两个接近开关不良 ⑤链条卡死 ⑥托盘断 ①更换电机轴销或电机 ②更换电机减速箱 ③复位，使链条位置正确 ④检查接近开关，必要时更换 ⑤打开烘箱，找出卡死部位 ⑥检查托盘，更换托盘 探针上下电机报警 闭合时，探针电机调得过低 测试台导轨、滑块不灵活 弹簧或弹簧调节螺丝卡住测试台 探针电机上下不灵活 探针上下电机受热烧毁 辅助气缸串气损坏 调节电机原点或help内探针闭合参数 导轨和滑块的清洁、加油，甚至更换 重新调好弹簧，使弹簧调节螺丝在适合位置 探针电机导轨和滑块的清洁、加油，甚至更换 更换探针上下电机 更换辅助气缸 分测承载盒内电池片不能上升 承载盒左右两侧的对射光纤没有对准 光电传感器没有设置好或损坏 重新调节对射光纤头位置，直到对射准确为止 重新调整光电传感器，必要时更换 回料板不工作 ①气缸内的密封圈磨损 ②负责上下动作的气管漏气或折叠 ③相关阀岛故障 ①拆下气缸，更换密封圈 ②整理折叠气管，更换破损气管 ③拆下阀岛清洗，如损坏则更换 上料臂抽碎片子 ①上料感应器感应不到片子 ②上料臂前端白色挡块磨损有缺槽 ①调节感应器的灵敏度，如坏则更换 ②更换白色挡块 001 [0E09] [01] Aux. Circuits not active – w1 机器附属电源丢失，“P2”和0E09输入信号信号为低 解除机器上所有