低温水泵在超高真空排气系统中的应用研究.pdfVIP

低温水泵在超高真空排气系统中的应用 周健勇邓峰马长胜魏作振 (中国科学院电子学研究所 北京100080) 摘要：本文介绍了一种新型超高真空辅助设备—低温水泵。采用低温水泵与分子泵、离子泵相结台的方式， 应用于大功率微波器件超高真空捧气系统中，可提高系统对水蒸气的抽气能力，使管子获得我们所需要的清洁超 高真空．其抽气机理及特性在文中有所论述。 关键词：低温水泵，水蒸气，超高真空 高真空和超高真空是电真空器件正常工作的依托，大功率微波器件霈在一个稳定的超高真空 环境中才能正常工作，而这个环境需要在摊气过程中对内部零件进行彻底去气，将零件表面吸附 的气体、阴极分解激活所产生的气体以及熔于材料中的气体尽量排除，以减少使用期中的放气雨 提供一个稳定的超高真空环境。研究表明，在排气过程中真空度优于1．33x101Pa的环境下，残余 气体成份中95％以上是水蒸气。因此这类残余气体称为水气，只对水蒸气抽速大的低温泵称为低温 水泵。 1．对APD低温水泵的一般介绍 APD低温水泵采用了节流循环带Ⅱ冷机及混合气体工质(图1)。新型制冷机没有运动机构，也 就没有振动出现，该制冷机提供的制冷温度对于抽除大量的水蒸气有最佳效果而对别的气体吸附 量很小，对于真空度的提高有比较明显的效果。此混合制冷工质尽管限制了能达到的最低温度， 但却提供了合适的制冷功率。这样～来，温度控制器也就不需要了。为APD低温水泵配置的混合 制冷工质在115K到130K温区内从无负载到满负载环境都能获得最佳工作效果。这样，在分子泵、 离子泵组成的真空系统中再配上低温水泵，保证对水的分压可以达到1010Pa。从而获得101Pa的 超高真空。 低温水泵工作时被抽气体冷凝吸附在水泵的低温板上，吸附容量达到泵的饱和容量时，水泵 抽速急速下降，需要停水泵升温，使先前冷凝吸附的气体全部释放出来。升温释放被抽气体称作 低温泵的再生。低温水泵停机或再生时，除非特殊要求，一般不加温．只要停机让其自然升温即 可。在本系统中，如果低温泵停机时，气量很小，则超高阀门不需关上．允许下次直接启动。如 果抽气量很大或接近饱和容量时，停低温水泵的同时要将超高阀门关上．否则，瞬时释放的大量 气体将会破坏真空室的真空度，绘管子造成不良的影响。待低温水泵再次启动后再开启超高阀门。 2．APD水泵对真空系统抽速的影响 在大功率微波器件的制管工艺中，系统及管内水蒸气的存在会造成管子真空排气时间上的延 长，陶瓷耐压的下降，大量的水蒸气还可能会带来阴极发射不良等一系列负面影响。在APD低温 水泵问世之前，抽除水蒸气大多采用氦制冷机或者在许多工业场合使用液氨冷却的冷阱。 在大功率微波器件超高真空排气实验系统中，经过多次实验及论证，选用了APD低温水泵同 分子泵(凰2)、离子泵，相结合作为主真空系统．在保证此系统达到晟高极限真空度(8xi08Pa) 的情况下同时达到对水蒸气的最佳抽气效果。 经过实验分析，APD低温水泵对不同的气体抽速相差很大(如图3曲线所示)，对氦的抽速最 小，对水蒸气的抽速最大。 一 覃 v 蠼 蹬 淞球f矗 囤3低温范围内的蒸汽特性 在本真空系统中将低温水泵和分子泵、离子泵组合，主要是利用低温水泵超强的抽水蒸气的 能力及分子泵、离子泵的不需要再生的优点。 低温水泵的应用不但能够减小真空系统中水蒸气的分压，同时能够减少系统抽气时间。在我 们的制管工艺中，由于工艺需要，每次更换管子时。系统都要经过暴露大气的过程，每次暴露大 气后尤其在环境湿度较大的情况下系统较难在较短时间内达到比较理想的真空度，使用低温水泵 后，它能够减少系统的抽气时问，这对于提高生产效率，保证大功率微波管的烘排质量是很有必 要的。在抽气过程中．真空管道烘烤、管体烘烤去气、阴极分解激活等总有一些水蒸汽分子从壁 上释放出来，而使用低温水泵就能够快速抽走这些水分子，从而使所获得的真空本底变好。 此低温水泵不但具有较强的抽水气能力，同时未对整个系统抽速造成负面影响。其厚度加上 法兰也仅为38删，这样就大大减少了流导的损失。同时对抽气冷板蛆及简单的环的组合也作了精 心的考虑，后者如果设计不好，也会对打到分子泵叶片上的分子自由程产生