光柵式疊對圖樣之最佳化設計研究.pdfVIP

光栅式叠封国檬之最佳化毅计 柯俊宏、虚墼莩、徐得铭。、领逸霞 (工紫技街研究院量测技街骚屐中心，台湾 新竹，300) ( 奉 交通大学光鼋工程研究所，台湾 新竹，300) scatterometer)用於量测元件嗣摊尺寸(cl‘iticaldimension)，具有次奈米的解析度舆 摘要角度散射俄(angular metrology)的利器之一。由於光栅式叠封圄檬直接影 精糯度，因而被祝属次世代微影璺封量iN(overlay Wave Theory)逛行 磐角度散射畿的量测霆敏度，本文将藐明如何以殷格耦合波理输(RigorousCoupled 固搽的畿何参数模凝觳针，藉以得到最佳的叠封圈檬，使得量测系统具有最高的曩敏度。 1引言 随著牛尊髓裂程技衙封於微影璺封量测精罐度的要求日趣殿苛，根掾ITRS (International for 30 TechnologyRoadmapSemiconductor)封於牛溥髓相嗣技衙鼗展的鞭告，1 nm，90 nm艨宽裂程的叠封量测精罐度的要求是3．5 nrt-i腺宽裂程的曼封量测精榷度的要 nm次世代牛溥髓裂程的璺封量测精磋度的 求则是3．2nm，随著裂程腺宽愈束愈小，65 要求将逮2．3rim，傅筑光孥影像式(bright—fieldmicroscope)叠封量测楼台由於受限於光挈 耱剃攫限舆本身量测精磋度等蹄题，将不易连成此一量测精磕度的要求。 wave 新近被提出以腋格耦合波理狳(rigorouscoupledtheory，RCWT)属基磋的散射衍 封量测畴，一般都是使用光栅式圈檬(gratingtarget)，然而不同光栅国檬的畿何毅针将舍 影警量测系硫的霞敏度，也将直接影警微影璺封量测的精碇度。本输文将以筒罩而快速 的数值方式甜封光栅圊檬参敷邋行最佳化设种，以求得一租使得散射俄量测系统具有最 佳量测整敏度的光栅圊檬参数。我佣以角度散射俄属量测系统架檎，入射光源是氦氖衽 光雷射，波畏煎633nm，初步得到楗由最佳化段蓄十後的量测爨敏度舆没有做最佳化段詈十 前的量测霆敏度稳平均值相比较，最饶化毅卦後的量测鬟敏度构属稳平均值的4．5倍， 将可有效地提羿散射饯量测系统的精罐度。 2研究方法 拳输文是探用角度散射饿鹧塑测系糸宛袈榉，周～。是角度散射俄系统架锵的示意嘲 —-——179-—．． 保探用(2—0)光孥系统架樽，即其入射光舆法躲的爽角和反射光舆法腺的爽角相同，儿 光侦测器懂接收零陷的反射光，藉由改燮入射内度0可以得到一入射光角度舆反射光强 度的特徵圃措(signatuI‘e)。 另外·根掾箴格耦合波理输，量测囫檬!必笤i是具有桕同涸期的牿礴。嘲二是…其f： 下笺眉光栅辖梢的量测固檬示意固，其中上下砸靥光sftirl-#j迥期必须相同，而上下雨靥光 erroi‘)。 栅嗣的错位量(offset)F,,N是我们所要量测的物理糙一强澍误差量(ove：‘lay 圃一角度散射佞光翠系统架槽示意画 圆二曼屠光栅糖棒示意圄 在遭倜利用角度散射俄量测微彩叠封褛差的系梳，基本上仍然是依循先前角度散射 俄虑用於量测元件丽键尺寸睛的方式，即是揉用资料瘁比封模式(model．based)，先利