光纤通信和硅基光波导开关研究.pdfVIP

光纤通信和硅基光波导开关· 李宝军 (中出大学光电材料与技术国家重点实验室，广州510275) 摘要：本报告在介绍光纤通信技术基础上，详细介绍我们在硅基光波导开关研究中、研制成功 的非对称结构、蝶形电极结构、高载流子注入结构，低功耗分叉结构等光开关器件；并介绍在突破 传统lx2和2x2光开关结构单元的研究中，提出并研制成功的一种由五个细光线(光波导)和两个 电极组成的新型3x2硅基光波导开关，同时给出最近所提出的一种有望全面突破传统1×2和2x2光 开关结构单元限制的、在光纤通信系统中有潜在应用前景的2x3光波导开关。 关键词：光开关：光纤通信；光波导：光电子器件 1引言 光波导开关是1．30岬l和1．55pm光纤通讯系统中的关键的控光器件，是高速大容量宽带光网 络迅猛发展的重要元器件之一。它的应用可以降低光网路的成本、增大光纤的传输容量，同时可很 容易地将光信号分配至不同的用户，因而是光电子学领域研究的热点和重点之一。各种材料和各种 原理的光波导开关不断出现，互为竞争。其中，利用载流子注入引起材料折射率变化原理研制的光 波导开关由于体积小、单模运作、对偏振和波长不敏感等特点而显示出大的潜力和优势。硅基材料 (如锗硅)由于其制作工艺与成熟的CMOS技术完全兼容，等离子体色散效应比其电光效应强的多， 并且易于实现硅基单片集成，因此，在过去数年间，硅基光波导开关技术取得了较大的发展。然而， 传统的硅基光波导开关都是基于对称结构的2x2交叉全内反射开关，这就要求2x2交叉区的全内反 射界面的对称性非常高，因为反射界面在工艺制作过程中的任何小小偏离都将导致光开关不能正常 工作。这一要求不但增加了光开关设计的难度，更是增加了光开关制作的难度，为此，我们提出并 研制了非对称结构的载流子注入全内反射光波导开关，克服了对称结构光波导开关在设计和制作中 的难度，提高了器件的成品率i然而，无论对称或非对称结构光开关，其反射区都是一个直形载流 子注入区，这就限定了2x2结构光开关的两个输入波导或两个输出波导之间的交叉角受临界角的限 制而不能增大，也就限制了光开关特性的进一步提高。为了解决这一问题，进而提高所研制的全内 反射光波导开关的性能，我们在此基础上又提出并研制了蝶形电极结构的载流子注入全内反射光波 导开关，使得光开关的插入损耗、串音等性能得到了提高。为了进一步降低载流子注入光波导开关 的功耗，提出并研制了第三种光波导开关，即多模干涉高载流子注入光波导开关，将光开关的注入 电流密度大大降低了，从而使光开关的整体性能得到了提高。同时介绍在光波导开关器件研究中的 一些最新设计和结构，例如，l×2低功耗分叉结构光开关，由五个细光线(光波导)和两个电极组 成的新型3x2光波导开关、2x3光波导开关以及具有光开关功能的3x3光控光全光逻辑门。 2器件结构和结果比较 2．1非对称结构全内反射光波导开关【l】 如图1，它是由两个夹角为0的Y型单模光波导和中间的开关区构成，该结构的特点是n+p结 不在耦合波导的中央，因而称为非对称结构的开关。当光从输入端1进入波导且在n+p结上不加电 压时，光赢线传输从波导4输出；若在n+p结上加上正向偏压，大量载流子将注入到波导层，由等 离子色散效应引起该区域的折射率减小，形成全反射界面，光从输出端3出来，这样就改变了光的 传输方向，形成了开关功能。实验结果表明这种非对称波导光开关对1．5S岬波长的消光比大于34 dB，串音小于一18．5dB，插入损耗小于2．86 dB。在110mA的注入电流时可达90％的光调制幅度， 这无疑是一种高性能的硅基波导光开关。 2。2蝶形电极结构全内反射光波导开关【21 蝶形电极结构全内反射波导开关是x交叉型，其特点是运用了如图2所示的蝶形电极结构，而 不是通常的条形电极结构。蝶形电极结构不但增大了光开关的交叉角，缩小了开关的几何尺寸，便 划项目一纳米专项(No．200423．D205I)等的资助。 一234— 于光电集成，而且还增大了光波导的数值孔径，使开关在光纤通信系统中易于与单模光纤的数值孔 径匹配。同时还可降低反射损耗、提高器件的消光比。 3 3 2