低能电子点源显微镜的研制及初步实验结果研究.pdfVIP

低能电子点源显微镜的研制及初步实验结果 1 2 1 1 1 1 1 1* 柏 鑫 肖桂里 于 洁 张兆祥 郭等柱 赵兴钰 薛增泉 张耿民 1 北京大学信息科学技术学院电子学系 纳米器件物理与化学教育部重点实验室 北 京 100871 2北京普莱思科技有限责任公司 摘 要 研制了一台集低能电子点源显微镜和场发射显微镜于一体的设备 研制的过程中 解决了包括超高真 空的获得 外界振动的隔离 爬行器及其控制电路的设计 场发射电流-电压自动测量 超高真空换样等一系列问题 4 利用该设备 获得了放大倍数大于10的投影像 并且测量了单根多壁碳纳米管的场发射特性 关键词 低能电子点源显微镜 场发射显微镜 场发射特性 中图分类号 O462.4 Development of a Low-Energy Electron Point Source Microscope and Some Initial Experimental Results on It Bai Xin, Xiao GuiLi, Yu Jie, Zhang ZhaoXiang, Guo DengZhu, Zhao XingYu, Xue ZengQuan, Zhang GengMin (Key Laboratory for the Physics and Chemistry of Nanodevices and Department of Electronics, Peking University , Beijing 100871, China) 1 引 言 随着现代扫描探针显微镜 SPM定位以及隔振 技术的发展 LEEPS显微镜已经能够在实空间实时获 6 得放大倍数在10 倍量级 并且具有纳米级甚至原子级 低能电子点源显微镜 Low-Energy Electron Point 分辨率[6-8] Source (LEEPS) microscope 的微观物体形貌像 由于具有高放大倍数 是点投影电子显微镜 Point [1] 低辐射损伤等优点 LEEPS显微镜可用于观测难以承 Projector Electron Microscope, PPM 的一种 它使用场 受高能电子辐射的生物体样品[9,10] 发射电子束作为电子源 电子源发出的电子束照射在 并可在小幅改装 后用于精确测量微观电场[11] [12] 与电子源相距 z 的物样上并与之相互作用后 即在 和磁场的分布 物样后方与发射源相距Z处的荧光屏上形成样品的投 影像或电子全息像 其放大倍数可以用表达式M=Z/ z计算 其原理如图1所示 LEEPS显微镜可以用来观 察微观物体的形貌 并借微观物体的电子全息像判断 场发射电子源发射相干电子束的能力 当场发射源具 有一定相干性 且电子源与被观测样品距离足够近时 则可在荧光屏上观察到相