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第 卷 增刊 低 温 物 理 学 报
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大面积高温超导薄膜临界温度无损伤测试
马永昌 周铁戈 阎少林 何明
路荣涛 方 兰 赵新杰
南开大学电子科学系，天津 !#$
我们设计并制作了高温超导薄膜无损伤超导转变温度 测试系统，可以在直径 英
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寸范围内同时测量 个位置上的 测试过程中可以用图形或数字监视薄膜的超导转变，
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方便可靠 系统采用液氮制冷，测试速度快，测量误差约 对于直径 英寸或小于 英
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寸薄膜的 ，本系统是一套实用可靠的测量设备
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$ 引 言
大面积高温超导薄膜是超导滤波器的基础材料 超导薄膜的超导电性及其均匀性，对于
超导滤波器的应用至关重要 大面积超导薄膜的超导转变温度 和 的均匀度是衡量超
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导薄膜最重要的参数之一，它对薄膜的制作和应用都非常关键 目前已有多种方法测量超导
薄膜的 ，如交、直流四点法，磁化率法等等 但是四点法是破坏性的测试，需要在膜上制作
!
电极，实验后的薄膜不可再应用 磁化率测量是一种无损伤测量 的方法，一般用
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