三维腹腔镜端面宽带增透膜的研制-中国光学.pdfVIP

第源卷摇 第圆期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援源摇 晕燥援圆 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员员年源月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 粤责则援圆园员员 文章编号摇 员远苑源鄄圆怨员缘渊圆园员员冤园圆鄄园员怨远鄄园缘 三维腹腔镜端面宽带增透膜的研制 魏孜洵摇 付秀华摇 石摇 澎摇 梅禹珊 渊长春理工大学袁吉林长春员猿园园员圆冤 摘要院根据由多组镜片组成的三维腹腔镜对高透过率和不失真成像的要求袁研究并选择了合适的薄膜材料曰采用电子束 真空镀膜加以离子辅助沉积系统袁利用膜系设计软件完成了宽带增透膜的非周期膜系设计遥 通过调整镀膜工艺参数并 采用光控与晶控同时监控的方法袁减少了膜厚控制误差袁成