实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪.docxVIP

Vol134No12JournalofSouthwestChinaNormalUniversity(NaturalScienceEdition)Apr12009文章编号:100025471(2009)0220016205①实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪谭兴文1,2,何国田3,411西南大学物理科学与技术学院,重庆400715;21重庆大学电气工程学院,重庆400020;31重庆师范大学物理学与信息技术学院,重庆400047;41中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800摘要:设计了一种实时测量表面形貌的正弦相位调制半导体激光干涉仪,对其抗干扰的实时测量原理进行了分析.在该正弦相位调制干涉仪中,利用高速图像传感器探测干涉信号,该干涉信号通过信号处理电路实时鉴相得到被测表面所对应的相位分布,即可实时获得待测量物体的表面形貌.在实验中,测量了楔形光学平板的表面形貌,测量点为30×30个,测量时间小于10ms,重复测量精度为413nm.实验结果表明该正弦相位调制干涉仪的有效性.关键词:实时测量;表面形貌;正弦相位调制干涉仪;鉴相;时序控制中图分类号:TN245文献标识码:A表面形貌是物体最重要的特征之一,它是保证和提高机械、电子及光学器件性能和质量的关键因素.表面形貌测量技术现已成为测试计量领域的一个研究热点[126].表面形貌测量可分为接触式与非接触式测量两种.接触式测量存在易划伤被测表面、精度低等问题.非接触式测量方法有电容法、光学干涉法、扫描电子显微镜法等[7210],其中光学干涉测量方法具有精度高、灵敏度高、全视场测量等优点而倍受关注[11212],它在工业生产和科学研究中得到了广泛的应用.高精度的表面形貌干涉测量方法主要有外差干涉法、移相干涉法、正弦相位调制干涉法等[13215].外差干涉法要求产生高精度的频差,这是比较困难的.移相干涉法存在移相不准确、噪声大、易受环境干扰、结构复杂等缺点.正弦相位调制干涉法具有移相简单、精度高、抗干扰能力强等优点,已成为一项重要的表面形貌测量技术[16220].现有的正弦相位调制干涉仪在测量表面形貌时存在实时性差、电路复杂[21]等缺点.本研究设计了一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪,并对其实时测量原理进行了理论分析.在该正弦相位调制干涉仪中,基于低速CCD的高速图像传感器探测干涉信号,信号处理电路对干涉信号进行实时鉴相处理,得到被测量表面所对应的相位分布,由相位分布即可获得表面形貌.在实验中,利用该正弦相位调制干涉仪对楔形光学平板的表面形貌进行了测量,实验结果验证了该正弦相位调制干涉仪的有效性.1滤波式测量原理滤波式实时测量表面形貌的正弦相位调制干仪的测量原理如图1所示,其光路为一个Twyman2Green干涉仪.半导体激光器LD出射的激光经过L1准直扩束后,由分束棱镜分成两束平行光,其中一束照到参考镜(Mirror)上形成参考光,另外一束照射到被测物体(Object)上形成物光.经过参考镜与被测物体表面的反射,参考光与物光干涉产生干涉信号.干涉信号由高速CCD图像传感器所探测.CCD输出的信号由信号处理电路进行实时鉴相处理,可得到被测表面所对应的相位分布,由相位分布即可获得表面形貌值.信号处理电路如图2所示,主要由实时鉴相处理电路、时序控制电路组成.实时鉴相处理电路由一个乘法电路、滤波电路、放大电路组成.在时序控制电路作用下,干涉信号经实时鉴相处理电路进行鉴相处收稿日期:2008205220基金项目:重庆市教委资助项目(KJ080821).作者简介:谭兴文(19722),男,重庆人,实验师,主要从事仪器科学与技术研究.①第2期谭兴文,等:实时测量表面形貌的正弦调制半导体激光干涉仪17理后得到被测表面所对应的相位分布,即可获得表面形貌.图1滤波式实时测量表面形貌的正弦相位调制干仪原理图由直流偏置电流i0和正弦调制电流Δi图2信号处理电路Acos(ωct+θ)驱动LD,表示为=i(t)=i0+(i(t)(1)式中:A表示正弦调制电流振幅,ωc表示角频率.设LD发射光的中心波长为λ0,对应正弦调制电流,LD的波长变化为Δλ(t)=βAcos(ωct+θ)(2)式中β为LD的波长电流系统,则LD的输出光波长为λ(t)=λ0+Δλ(t)(3)CCD接收到的干涉信号交流成分为[21]s(x,y,t)=s0(x,y,t)cos[z0(x,y)cosωct+α0+αr(x,y)](4)式中:x,y为被测量物体表面的位置坐标,s0为信号交流分量的振幅.α0为两干涉臂的初始光程差D0引入的相位,z0=2πAβD0/λ2为正弦相位调制深度.(4)式中αr(x,y)为被测量物体表面形貌引起的干涉信号0的相位变化,它由下式计算得αr(x,y)=(4π/λ0)r(x,y)(5)其中r(x