溅射-电镀微成型制造柔性热膜传感器阵列.pdfVIP

航 空 学 报 Nov．25 2011 Vo1．32 No 11 2147．2152 ActaAeronauticaetAstronaut／caSinica ISSN 1000．6893 CN11—1929／V http：／／hkxb．buaaedu．cn hkxb@buaaedu．ca 文章编号 ：1000—6893(2011)1卜214706 溅射一电镀微成型制造柔性热膜传感器阵列 马炳和 ，傅博 ，李建强 ，邓进军 ，董拴成 1．西北工业大学 陕西省微 ／纳米系统重点实验室，陕西 西安 710072 2．中国空气动力研究与发展 中心 高速空气动力研究所，四川 绵 阳 62]661 摘 要 ：为了实现流场壁面剪应力等动态定点分布测量 ，提出了一种新的柔性热膜传感器阵列结构，并介绍了其制作工 艺。旋涂并升温固化制备聚酰亚胺柔性薄膜衬底，在衬底上溅射沉积金属镍膜，并用剥离工艺成型热敏 电阻元件阵列及 其引线区底膜。然后在引线区底膜上 电镀沉积铜膜，再剥离成型铜引线。通过 电镀可以经济快速地获得较厚的引线铜 膜，使得 引线 电阻远小于热敏元件阻值，有 利于减 小引线 的热敏 干扰。经热敏性 能测试，其 电阻温度 系数 达到 3．6×10 ／℃以上，线性度优于 0．7 ，并且热敏响应速度极快；结合风洞试验验证了该传感器测量壁面剪应力的有效 性，并且获得 了较好 的测量重复性 。该传感器阵列结构简单 ，工艺成本和复杂度较低 ，提高了用于非平面应用时柔性热 膜元件与引线间的连接可靠性，为高曲率表面的非破坏性动态流场参数测量提供 了新手段 。 关键词 ：溅射 ；电镀 ；微成型；热膜传感器 ；柔性 ；剪应力 中图分类号 ：V261；TP212 文献标识码 ：A 在航空航天、河流海洋等气动 ／水动力学研究 铂材料 电阻温度系数 (TCR)高很多，所以有利于 中，对定点温度 、剪应力等重要流场参数的非破坏 获得高的器件灵敏度 。然而 ，国内外研究多存在 实时分布测量有着重要而急迫的需求 。利用微机 以下问题 ：①热敏 电阻元件两端和 弓i线焊盘间属 电加工 (MEMs)技术制作的阵列化微型热膜传 于较小搭接面积的握手 台阶结构 ”]，虽然在硬 感器可实现流场的快速分布测量 ，具有空间分辨 质衬底微传感器 中经常用到 ，但是对于此处的柔 率高、动态性好、灵敏度高等优点。 性传感器阵列，工程应用中的弯折极易造成连接 一 般 MEMS热膜传感器多为硅基器件_1]， 失效。②引线都是溅射成型，其厚度受限(一般不 实际应用中各种非平面表面 ，特别是高曲率表面 超过几微米)，加工效率低 ，而且成本较高。 (例如各种翼面、发动机进气道表面、舰船浸水面 本文提出了一种新 的高可靠性 、低引线制作 等)非常多，硅基硬质衬底 MEMS传感器阵列 的 成本的柔性热膜传感器 阵列结构 ，并介绍 了其制 作工艺 。 使用受到限制 。因此 ，柔性热敏微传感器 阵列研 究受到高度关注并成为该领域研究热点 。其 l 柔性热膜传感器的制作 中，西北工业大学陕西省微 ／纳米系统重点实验室 1．1 测量原理 在柔性聚酰亚胺 (PI)薄膜衬底上制作了热敏镍薄 膜温度及剪应力传感器_l】，由于镍 比以往常用 的 金属热膜传感器 的电阻率受温度影响，对于 收稿 日期 ：2010—12—3T；退修 日期 ：2011-03—28；录用 日期 ：2011—06—29；网络出版时间：2011．07—1209：04 网络出版地址 ：WWW cnkinet／kcms／detail／111929V．201007120904．001html DOI：CNKI：11-1929／V201107120904 001 基金项 目：国家 自然科学基金 *通讯作者 Tel：029E．mail：m