教案计算数学与微电子.pptVIP

计算数学与微电子 西安电子科技大学 张玉明 2008.4 * 什么是计算微电子学 把微电子学与计算数学联系起来，使微电子学中原来难于解析求解的问题成为可解，成为微电子学和计算数学之间的桥梁。 对所研究的对象（器件或电路）选用合适的物理模型，并抽象得到相应的数学表述，然后利用适当的数值方法，并赋以相应的模型参数，计算得到器件或电路的特性及内部的物理图象。 * 为什么要发展计算微电子学 器件和电路研制的周期性和效益性 传统的器件试制过程 器件模拟得到电参数的方法 * 为什么要发展计算微电子学 器件和电路结构的复杂性 * 为什么要发展计算微电子学 器件和电路结构的复杂性 随着集成电路复杂性的不断增加，器件尺寸越来越小，器件的二维和三维效应已非常明显，同时各种新结构器件也不断出现。 传统的解析方法已不能准确分析器件的特性，而必须采用数值方法。 实践证明：在工艺、器件和电路的研究和发展中，使用计算机模拟的方法是有效而且经济的。 * 计算微电子学的研究内容 包括工艺模拟、器件模拟、电路模拟、IC系统设计。 发展趋势是将工艺、器件、电路的模拟集成为一个系统，作为设计新型器件和电路的依据。 比如：ISE，SILVACO 基本框架 * 计算微电子学的的研究内容 基本框架 工艺条件 掩膜形状 工艺模拟器 器件结构 器件模拟器 器件电学特征 电路模拟器 图形接口 设计师 * 工艺模拟 可以