微机构的元件型式与运动特性.PDFVIP

微機構的元件型式與運動特性 吳名清、楊學安、方維倫 國立清華大學動力機械工程學系 理察-費曼（Richard P. Feynman ）博士於1959 年在美國物理學會年會的演 講，為科技開啟了一個全新的領域，也將工程科學的發展延伸至微小的世界。自 七零年代開始發展的矽微加工技術，使機械元件微小化，且得以和電子元件整 合，進而衍生出微機電系統。然而，利用平面加工技術(planar technology)製造的 微機電系統，主要是透過製程來整合各機械元件，因此其機構設計和元件特性， 將有別於傳統的思維模式：亦即透過組裝來整合機械元件的方式。因此，本文將 從機械系統的角度出發，來探討以微機電技術將機械系統微小化之後，其主動件 及被動件之型式及其運動模式。 關鍵字：微機電系統、微致動元件、微傳動機構、接點、撓性機構 一、前言 制，不易利用傳統元件個別組裝的技 機構設計（Mechanism design ）是 術，而必須透過製程整合的方式，來 一門存在已久的學科，在人類發展的 完成各種不同的微機構。因此，這項 文明史上，有各式各樣簡單或者複雜 變革為機構設計帶來新的衝擊，也衍 的機構參與其中。例如，遠古時期埃 生出許多新的研究課題。 及金字塔的建造和中國的指北針的發 一般傳統的機械系統，主要是利 明，至工業革命內燃機及各種相關機 用組裝的方式，將各種元件(如齒輪、 器的開發，及目前半導體廠的高精密 連桿、滑塊)和接頭(joint)連結，以建立 度製造檢測設備、與電腦週邊產品如 傳遞或變換運動方向與運動方式(例如 硬碟機和光碟機。因此機構對人類生 直線運動與轉動) 、或是用來傳遞能量 活的影響真是無遠弗屆，小至指甲 的機構。簡言之，上述機械系統主要 刀、拉鍊等生活用品，大至汽車、飛 由三個部份組合而成，分別為驅動源 機等交通工具，都是利用機構設計的 （driver ），傳動機構（transmission ） 原理，來達到特定的功能與目的。隨 以及從動機構（follower ）。圖1 所示之 著科技的發展，目前半導體製程技術 曲柄滑塊機構為一個典型的例子。其 也被廣泛地利用來製造微機械元件， 中由驅動源產生一旋轉運動，透過傳 並衍生出許多的產品與應用。有別於 動機構來帶動從動機構，並使其輸出 傳統的機構設計的概念，微機電系統 一截然不同地直線往復運動。 （MEMS ）因為受到製程和尺寸的限 致動器（comb drive ）驅動的微光學掃 接點 傳動機構 描面鏡系統[2] 。以面型微加工技術 驅動源 從動機構 (surface micromachining) 製作的梳狀 致動器，廣泛應用於微機電系統，其 致動特性為線性（linear ）、同平面 圖1 、曲柄滑塊機構 （in-plane ）的小位移運動。由於梳狀 致動器其致動行程較小，為能使掃描 系統微小化之後，由於尺度效應 鏡面產生大角度的光束掃描(亦即大角 （scaling effect ）[1] ，使得在設計機械 度的轉動) ，此系統利用滑塊來累積行 元件時，需要考慮許多原來在巨觀世 程以產生一個較大的同平面直線運 界被忽略的物理現象，例如空氣阻 動。然後再利用另一根連桿連結滑塊 尼、或是液體的表面張力等，致使許 與面鏡，配合將面鏡固定於晶片表面 多傳統的機械元件，必須被更換以達 的鉸鏈 (hinge) ，可將滑塊從同平面的 到較佳的工作性能。其中最明顯的例 直線運動轉換成出平面（out-of-plane ） 子就是微致動器，在微機電領域裡， 的轉動。使傳動機構可