Ar环境气压对脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒平均尺寸的影响.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 .% % ##. % ， ， ， WA+ 3.% VA 3% 1X2-+ ##. （ ） !###S9’#I##.I.% #% I !89S#% 1*U1 /=,R*1 ,RVR*1 ##. *?-5 3 /?F 3 ,AJ 3 ! 环境气压对脉冲激光烧蚀制备纳米#$ 晶粒平均尺寸的影响! !） !） !） !） ） 王英龙 周 阳 褚立志 傅广生 彭英才 !）（河北大学物理科学与技术学院，保定 #$!## ） ）（河北大学电子信息工程学院，保定 #$!## ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##% ! ##% ’ 采用 脉冲准分子激光器，烧蚀高阻抗单晶 靶，在 — 的 气环境下沉积制备了纳米 薄膜 ()*+ ,- ! .## /0 12 ,- 3 4 射线衍射谱测量证实，纳米 晶粒已经形成 利用扫描电子显微镜观测了所形成纳米 薄膜的表面形貌，结果表 ,- 3 ,- 明，随着环境气压的增加，所形成的纳米 晶粒的平均尺寸增大，气压为 时达到最大值 ，而后开始减 ,- !## /0 # 56 小3 从晶粒形成动力学角度，对实验结果进行了定性分析3 关键词：纳米 晶粒，脉冲激光烧蚀，表面形貌 ,- ： ， %! !% !.#7 本工作以 为环境气体，利用 方法，在 12 /;1 — 的 气环境下沉积制备纳米 薄膜；对 !: 引 言 ! .## /0 12 ,- 其微结构进行扫描电子显微镜（ ）分析，获得了 ,CD 纳米 晶粒的平均尺寸随 气压的变化关系 我们知道，纳米 晶粒具有明显的量子尺寸发 ,- 12