3ω法加热测温膜中温度波解析及其在微纳米薄膜导热系数测量中的应用.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 )( %%8 ， ， ， NH= +)( 1H + OBP7Q7R %%8 （ ） !%%%;$’%*%%8*)( % *%898;% 4IJ4 KL3.MI4 .M1MI4 %%8 IS/, + KSRG + .HD + 法加热 测温膜中温度波解析及其在微 纳米 !! 薄膜导热系数测量中的应用! ）） ） ）） ） ! ! # ! $ 王照亮 唐大伟 贾 涛 毛安民 !）（中国科学院工程热物理研究所，北京 !%%%% ） ）（中国科学院研究生院，北京 !%%%$’ ） $ ）（中国科学院数学与系统科学研究院，北京 !%%%% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %%( $ $% %%( ) ! 给出了 法测试系统中描述薄膜表面加热 测温膜中温度波动的级数形式解，并将复数温度波动的实部和虚 $! * 部分开表示+ 利用该解分析了交流加热频率、加热膜宽度和材料热物性的组合参数对加热膜温度波动幅度的影响+ 并根据此解对测量原理的数学模型进行了修正，建立了相应的 测试系统，首先测定了厚度为 薄膜 $! )%% ,- ./0 的导热系数，验证了实验系统的合理性 加大了测试频率，利用级数模型在高频段直接得到 薄膜的导热系数， + ./0 结合低频段的数据同时确定了 基体的导热系数 利用级数解分析测试了激光晶体 ： 〈 〉面上多层 ./ + 12 345 !!! 670 * 增透膜的导热系数，测试的 薄膜的导热系数比体材料小 进行了不确定度分析 结果表明，提出的分析方 ./0 670