电场辅助阳极连接碱金属耗尽层模型.pdfVIP

第 卷第 期 中国有色金属学报 年 月 ! $ ! !!!!!!!!!!!!!! 9:;(!1:$ !!!!!!!!!!!!! 0=( #$%#’$($)*+,’-.*/0*’/$,,*+(1$2-.( ! !文章编号 ! !# $%$ !$’ # ! 电场辅助阳极连接碱金属耗尽层模型 ! ! 周青春 !陈 铮 !董师润 ! 华东船舶工业学院基础学科系!镇江 # !( !) 华东船舶工业学院材料与环境工程系!镇江 $ ( !) !摘 要假设电场辅助阳极连接中玻璃的碱金属离子耗尽层内负电荷为均匀分布#建立了耗尽层生长模型#同 ! 时计算了耗尽层内电场强度分布以及金属阳极与玻璃之间的静电引力$结果表明%碱金属离子耗尽层厚度以连接 时间的双曲正切函数形式增长界面电场强度随连接时间单调上升#而耗尽层外的玻璃内电场强度单调下降电 场辅助阳极连接是否完成决定于待连接表面间是否形成紧密接触#而非电荷迁移量是否达到某一恒定值$与实验 数据的比较表明#该模型是合理的$ !关键词电场辅助阳极连接玻璃碱金属耗尽层电场强度 !中图分类号 !文献标识码 *## +,#-$ . ’( 电场辅助阳极连接! 能够将非导体与导体或半 !! ! 耗尽层和电场 ! 导体牢固地连接在一起#连接温度仅需) -/# 且对待连接表面光滑度的要求低于直接连接技术$ 玻璃与导体或半导体的电场辅助阳极连接能得 4 由于电场辅助阳极连接法具有低温处理以及可连接 以实现#是由于玻璃内所含金属阳离子如 13 # 性质不同的材料的特点#它在微机电系统制造方面 4 等在电场作用下向阴极移动#从而在金属阳极 5 ’ ( 愈来愈受到欢迎 $最近#用电场辅助阳极连接技 和玻璃界面附近产生负离子积累#形成强静电引 ’ ( ) 术实现了微流体通道系统 #该努力方向将使电泳 力#使待连接表面紧密接触#氧负离子与金属阳极