水热构筑管状ZnO及其形成机理研究.pdfVIP

2005年10月 四川大学学报(自然科学版) Oct．2005 of Science V01．42Issue2 Sichuan Edition) 第42卷增刊2 Journal University(Natural 文章编号：0490—6756(2005)072—0187—03 水热构筑管状ZnO及其形成机理 杨丽萍，李燕，邓 宏 电子科技大学微电子与固体电子学院，成都610054 摘要：作者采用低温水热法在硅衬底上生成了微米级管状zrlo，利用扫描电子显微镜 (sEM)和x射线衍射(XRD)分析样品的形貌和物相姑构．在不同温度下对样品进行了热处 理，实验结果表明，在723K下ZnO微管的结晶性能最佳．初步探索了此管状结构的形成机理： 溶液中先形成ZnO的球形颗粒并沉积在村底上，然后形成中空结构，最终生长为六棱管状结 构， 关键词：ZnO；水热；形成机理 中图分类号：O611．4 文献标识码：A 引言 ZnO是一种宽禁带直接带隙半导体材料，具有良好的光电性能．可用于制作短波长光电器件。如发光 二极管【1】紫外光探测器【2]等，在信息及军事等领域有重要用途，因此制备高质量的ZnO材料具有重要意 光沉积(PLD)f5J、蒸发【6J和水热等．水热法是19世纪中叶地质学家模拟自然界成矿作用而开始研究的，其 特点就是制备所需温度低，生成产物均匀、致密，越来越多的人开始采用水热法来制备高质量的ZnO材 料． 随着20世纪90年代碳纳米管【7j的同世，管状材料由于具有规则的外形，中空的结构以及较大的比表 面积，引起了人们广泛的关注．目前制备管状ZnO材料的相关报道较少，尚未见采用水热法制备管状ZnO 材料的报道．我们采用简单的低温水热法在硅基片上成功地合成了六棱管状ZnO，对ZnO微管进行热处 理使其结晶质量更佳。并对管状结构的形成机理进行了初步的探讨． 2实验 将N型Si(111)基片用重铬酸浸泡2h，之后用去离子水、丙酮、酒精依次超声清洗，完毕后置于酒精中 待用．量取50mL前驱物溶液填人反应釜内胆中，将酒精中的基片取出烘干之后放人溶液中．盖紧釜盖之 后将反应釜置于恒温鼓风干燥箱中，反应温度设为453K，保温时间为12h．实验结束后关闭电源，待反应 釜自然冷却至室温后取出生长有ZnO的硅基片，用去离子水反复冲洗并烘干．采用扫描电子显微镜 3结果与讨论 3．1 ZnO微米管的形貌和物相分析 从反应釜中取出长有znO微管的硅基片，用去离子水反复冲洗．烘干后对ZnO微管进行扫描电镜和 x射线衍射分析，结果见图1),kilt1(a)的形貌图中可看出，ZnO微管为规则的六棱形结构，管径在5pm 收稿日期：2005—08—30 188 四川大学学报(自然科学版) 第42卷 构的ZnO， zOO 占150 ‘高 §100 点 50 0 30 32 34 36 38 40 2 o(。) 图1 ZnO微管的表面形貌覆物相蛄构