在Ni片上制备YSZCeO2阻挡层和YBCO超导膜.pdfVIP

石东奇等:在Ni片上制NYSZ/0002阻挡层卯飞一旦仁鱼暨逃 在Ni片上制备YSZ/Ce02阻挡层和YBCO超导膜 石东奇杨坚 常世安袁冠森 北京有色金属研究总院，100088 王素玉 王家素 西南交通大学.610031 摘要:本文用平面靶射频磁控溅射在具有双轴织构的Ni片上外延生长0002和YSZ薄 膜作为阻挡层，X一射线衍射中扫描分析表明Ce02和YSZ薄膜具有强的c轴织构和较 好的平面内双4迪织构。用中空柱状靶直流磁控溅射在阻挡层上制备YBCO超导薄膜。 在2cm波带测负了YBCO的表面电阻和谐振腔有载氏值。 一、概 述 在诸如镍和镍基合金等多晶金属上制备高质量的YBCO超导带材可用于超导电机、 超导强磁场和超导储能等强电领域。 YBCO超导体由于弱连接无法用机械加工的方法 制成线材和带材，多年来人们一直设法把YBCO沉积到柔性金属基底土以制成带材。直 接沉积在金属基底上的YBCO薄膜的超导电性能很差，必须在金属基底上加一层阻档层。 阻档层的作用是既要阻止金属基底的氧化和扩散，又要与上面的YBCO相匹配。在单 晶硅和蓝宝石基片f-k用Y稳定Zr02(YSZ)和CeOZ作为阻档层，在其上已生长出了性能 优良的YBCO超导薄膜(1,21a在无织构取向的多品金属基底上用YSZ作阻档层可以使 YBCO超导薄膜性能得到一些改善，但是由于超导膜不是外延生长的，晶粒的平面内取 向无规则，垂直于平而的取向也差。存在大量由大角度品界形成的弱连接，Jc一般为 103-100A/cm2量级[3jeYBCO超导膜的!c强烈地依赖于a-b轴平面内的晶格有序程度。 得到具有a-b平而内双轴织构的阴挡层的方法有两种，一是用离子束辅助沉积 (IBAD) 法在无双轴织构的金属基底上制备出具有双轴织构的阻挡层4「1.另一种方法是在具有双 轴织构的金属基底上外延生长具有双轴织构的阻挡层。这种方法称为RABiTS法[51。本 文采用RABiTS法研究在双轴织构镍荃片L外延CeOZ和YSZ阻挡层和YBCO超导薄膜。 二、实验结果和讨论 本文选用N，片作为用RABiTS法制备YBCO膜的基底，一方t即已比较容易形成立 方织构;另一方面它比较抗氧化，有一定的机械强度，可以作为柔性YBCO带材的基带。 我们采用的Ni片是经过轧制和再结品处理的，具有较纯的立方织构，住a-b面平行于表 而。图I(a)为Ni);-的(111)极图，图I(b)为Ni)l的(11l)面的小扫描，其半高宽为90研 究表面N，片的品粒大小、光洁度以及抛光 「艺对后面的阻挡层的外延都有很大影响。 . 尸 ， . 第四)ui全国超}s:}rk与超v.电J几学器件学术会议论文集 . 训 ， 划 十 \ 丁 ! 、 1 飞 卜士‘ 1 止 血 1 J I J 月 n . ” n ” ” 八 1 耳 日 日 曰 014 中，(o) 图I(a).立方织构Ni片的((111)极图 图1(b)