传感器原理及工程应用 第9章wPPT.pptVIP

第9 章 半导体传感器;9.1.2半导体气敏传感器的机理 ;气敏元件结构上,有电阻丝加热,结构如图,1和2是加热电极,3和4是气敏电阻的一对电极;1）烧结型气敏元件：将元件的电极和加热器均埋在金属氧化物气敏材料中, 烧结而成。;氯化锂溶液中,Li和Cl以正负离子的形式存在,而Li+对水分子的吸引力强,水合程度高,离子导电能力与浓度成正比;半导体陶瓷湿敏电阻通常是用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成的多孔陶瓷。（简称为半导瓷）;当水分子附着半导瓷的表面使电势变负时, 导致其表面层电子浓度下降,但表面层不出现反型,仍以电子导电为主。;氧化镁复合氧化物-二氧化钛湿敏材料通常制成多孔陶瓷型“湿-电”转换器件,它是负特性半导瓷, MgCr2O4为Ｐ型半导体,它的电阻率低,阻值温度特性好,结构如图所示, ;MgCr2O4-TiO2陶瓷湿度传感器的相对湿度与电阻值之间的关系见图。;ZnO-Cr2O3???感器能连续稳定地测量湿度, 而无需加热除污装置, 因此功耗低于0.5 Ｗ, 体积小, 成本低, 是一种常用测湿传感器。 ;半导体色敏器件可用来直接测量从可见光到近红外波段内单色辐射的波长。这是近年来出现的一种新型光敏器件。;浅结的对紫外光灵敏度高, 深结的对红外光灵敏度较高。;表示它所能检测的波长范围。图a为CS—１型色敏器件的光谱特性,其波长范围是400~1000 nm。;图为实用酒精测试仪的电路。气体传感器用二氧化锡气敏元件;由VT1,VT2,T1等组成测湿电桥的电源,其振荡频率为250~1000Hz。湿度刻划在微安表盘上,成为直读式湿度计