传感器原理及工程应用第三版第5章.jspPPT.ppt

第5章 电容式传感器 ;5.1 电容式传感器的工作原理和结构; 当被测参数变化使得式（5-1）中的S、 d或ε发生变化时， 电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数， 就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。因此，电容式传感器可分为变极距型、 变面积型和变介电常数型三种。图5-1所示为常用电容器的结构形式。图(b)、 (c)、 (d)、 (f)、 (g)和(h)为变面积型， 图(a)和(e)为变极距型， 而图(i)～(l)则为变介电常数型。 ;图5-1 电容式传感元件的各种结构形式;图5-3 电容量与极板间距离的关系 ; 在式（5-3）中，若Δd/d01时，1-(Δd/d0)2≈1，则式 ;（5-5） ;图5-4 放置云母片的电容器; 云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不小于1000 kV/mm，而空气仅为3 kV/mm。因此有了云母片，极板间起始距离可大大减小。同时，式（5-5）中的dg/ε0εg项是恒定值， 它能使传感器的输出特性的线性度得到改善。  一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20~100pF之间， 极板间距离在25~200μm 的范围内。最大位移应小于间距的1/10， 故在微位移测量中应用最广。 ;5.1.2 变面积型电容式传感器 图5-5是变面积型电容传感器原理结构示意图。 被测量通过动极板移动引起两极板有效覆盖面积S改变，从而得到电容量的变化。当动极板相对于定极板沿长度方向平移Δx时，则电容变化量为 ;图5-5 变面积型电容传感器原理图 ;图5-6 电容式角位移传感器原理图 ; 图5-6是电容式角位移传感器原理图。当动极板有一个角位移θ时，与定极板间的有效覆盖面积就发生改变，从而改变了两极板间的电容量。当θ=0时，则 ;当θ≠0时， 则 ;5.1.3 变介质型电容式传感器 图5-7是一种变极板间介质的电容式传感器用于测量液位高低的结构原理图。设被测介质的介电常数为ε1，液面高度为h, 变换器总高度为H，内筒外径为d，外筒内径为D，此时变换器电容值为 ; 由式（5-10）可见，此变换器的电容增量正比于被测液位高度h。  变介质型电容传感器有较多的结构形式，可以用来测量纸张、绝缘薄膜等的厚??， 也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿度。图5-8是一种常用的结构形式。 图中两平行电极固定不动，极距为d0，相对介电常数为εr2的电介质以不同深度插入电容器中，从而改变两种介质的极板覆盖面积。 传感器总电容量C为 ;式中：L0和b0——极板的长度和宽度；  L——第二种介质进入极板间的长度。  若电介质εr1=1, 当L=0时，传感器初始电容C0=ε0εrL0b0/d0。 当被测介质εr2进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为 ;图5-7 电容式液位变换器结构原理图 ;图5-8 变介质型电容式传感器 ;表5-1 电介质材料的相对介电常数 ;5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性; 由式（5-14）可见，输出电容的相对变化量ΔC/C0与输入位移Δd之间成非线性关系，当|Δd/d0|1时可略去高次项，得到近似的线性关系， 如下式所示： ;如果考虑式（5-14）中的线性项与二次项， 则 ; 在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性误差，大都采用差动式结构。图5-9是变极距型差动平板式电容传感器结构示意图。 在差动式平板电容器中，当动极板位移Δd时，电容器C1的间隙d1变为d0-Δd，电容器C2的间隙d2变为d0+Δd, 则 ;图5-9 差动平板式电容传感器结构图 ;在Δd/d01时, 按级数展开得 ;电容值相对变化量为 ;5.3电容式传感器的等效电路 ;图5-10 电容式传感器的等效电路 ; 由等效电路可知， 它有一个谐振频率，通常为几十兆赫。 当工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏了电容的正常作用。因此，工作频率应该选择低于谐振频率，否则电容传感器不能正常工作。  传感元件的有效电容Ce可由下式求得(为了计算方便，忽略Rs和Rp): ;在这种情况下，电容的实际相对变化量为 ;5.4 电容式传感器的测量电路;式中： L——振荡回路的电感；  C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+Cx，其中C1为振荡回路固有电容, C2为传感器引线分布电容, Cx=C0±ΔC为传感器的电容。 ; 当被测信号为0时，ΔC=0，则C=C1+C2+C