传感器原理及工程应用教案(郁有文)第6章PPT.ppt

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传感器原理及工程应用教案(郁有文)第6章PPT

6.1压电效应及压电材料 6.2压电传感器测量电路 6.3压电式传感器的应用 ;第6章 压电式传感器 ;6.1 压电效应及压电材料; 在自然界中大多数晶体具有压电效应, 但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究, 发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。 ;;; 若从晶体上沿 y 方向切下一块如图 6 - 2(c)所示晶片, 当在电轴方向施加作用力时, 在与电轴 x 垂直的平面上将产生电荷, 其大小为  qx = d11 fx (6 - 1) 式中: d11——x方向受力的压电系数;  fx——作用力。 若在同一切片上, 沿机械轴y方向施加作用力fy, 则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy, 其大小为  qy=d12 fy (6 - 2) 式中: d12——y轴方向受力的压电系数, d12=-d11; a、 b——晶体切片长度和厚度。 ; 电荷qx和qy 的符号由所受力的性质决定。  石英晶体的上述特性与其内部分子结构有关。图6 - 3是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子, 在垂直于z轴的xy平面上的投影, 等效为一个正六边形排列。图中“”代表Si4+离子, “”代表氧离子O2-。  当石英晶体未受外力作用时, 正、负离子正好分布在正六边形的顶角上, 形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、 P2、P3。 如图 6 - 3(a)所示。  ;; 因为P=qL, q为电荷量, L为正负电荷之间距离。 此时正负电荷重心重合, 电偶极矩的矢量和等于零, 即P1+P2+P3 = 0, 所以晶体表面不产生电荷, 即呈中性。  当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时, 晶体沿x方向将产生压缩变形, 正负离子的相对位置也随之变动。如图 6 - 3(b)所示, 此时正负电荷重心不再重合, 电偶极矩在x方向上的分量由于P1的减小和P2、P3的增加而不等于零, 即(P1+P2+P3)x 0 。 在x轴的正方向出现正电荷, 电偶极矩在y方向上的分量仍为零, 不出现电荷。 ; 当晶体受到沿y轴方向的压力作用时, 晶体的变形如图6 - 3(c)所示, 与图6 - 3(b)情况相似, P1增大, P2、P3 减小。 在x轴上出现电荷, 它的极性为x轴正向为负电荷。 在y轴方向上不出现电荷。  如果沿z轴方向施加作用力, 因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同, 所以正负电荷重心保持重合, 电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力, 晶体不会产生压电效应。  当作用力fx、fy的方向相反时, 电荷的极性也随之改变。 ; 二、 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。 材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴, 它有一定的极化方向, 从而存在电场。 在无外电场作用时, 电畴在晶体中杂乱分布, 它们的极化效应被相互抵消, 压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性, 不具有压电性质。如图 6 - 4(a)所示。  在陶瓷上施加外电场时, 电畴的极化方向发生转动, 趋向于按外电场方向的排列, 从而使材料得到极化。外电场愈强, 就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。 让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度, 即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时, 外电场去掉后, 电畴的极化方向基本不变, 即剩余极化强度很大, 这时的材料才具有压电特性。 ;; 极化处理后陶瓷材料内部仍存在有很强的剩余极化, 当陶瓷材料受到外力作用时, 电畴的界限发生移动, 电畴发生偏转, 从而引起剩余极化强度的变化, 因而在垂直于极化方向的平面上将出现极化电荷的变化。这种因受力而产生的由机械效应转变为电效应, 将机械能转变为电能的现象, 就是压电陶瓷的正压电效应。电荷量的大小与外力成正比关系:  q = d33 F (6- 3) 式中: d33—— 压电陶瓷的压电系数;  F——作用力。; 压电陶瓷的压电系数比石英晶体的大得多, 所以采用

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