杭电传感器原理 期末复习PPT.ppt

变化，从而引起传感器有效灵敏度的改变 ?????????????????????????????????????????? 在这种情况下，每当改变激励频率或者更换传输电缆时都必须对测量系统重新进行标定。 2.边缘效应 以上分析各种电容式传感器时还忽略了边缘效应的影响。实际上当极板厚度h与极距δ之比相对较大时，边缘效应的影响就不能忽略。这时，对极板半径为r的变极距型电容传感器，其电容值应按下式计算： (5-21) (5-22) 第5章 电容式传感器 (5-23) 边缘效应不仅使电容传感器的灵敏度降低，而且产生非线性。为了消除边缘效应的影响，可以采用带有保护环的结构，如图5.10所示。保护环与定极板同心、电气上绝缘且间隙越小越好，同时始终保持等电位，以保证中间工作区得到均匀的场强分布，从而克服边缘效应的影响。为减小极板厚度，往往不用整块金属板做极板，而用石英或陶瓷等非金属材料，蒸涂一薄层金属作为极板。 第5章 电容式传感器 第5章 电容式传感器 4.寄生电容 电容式传感器由于受结构与尺寸的限制，其电容量都很小(几pF到几十pF)，属于小功率、高阻抗器件，因此极易受外界干扰，尤其是受大于它几倍、几十倍的、且具有随机性的电缆寄生电容的干扰，它与传感器电容相并联(见图5.9)，严重影响感器的输出特性，甚至会淹没有用信号而不能使用。消灭寄生电容影响，是电容式传感器实用的关键。 ⑴．驱动电缆法 它实际上是一种等电位屏蔽法。如图5.11所示：在电容传感器与测量电路的前置级之间采用双层屏蔽电缆，并接入增益为1的驱动放大器，(接线如图示)。 第5章 电容式传感器 这种接线法使内屏蔽与芯线等电位，消除了芯线对内屏蔽的容性漏电，克服了寄生电容的影响 ；而内、外层屏蔽之间的电容变成了驱动放大器的负载。因此驱动放大器是一个输入阻抗很高、具有容性负载、放大倍数为1的同相放大器。该方法的难处是，要在很宽的频带上严格实现放大倍数等于1，且输出与输入的相移为零。为此有人提出，用运算放大器驱动法取代上述方法 。 图5.11 驱动电缆法原理图 ⑵.整体屏蔽法 以差动电容传感器Cx1、Cx2配用电桥测量电路为例，如图5.12所示；U为电源电压，K为不平衡电桥的指示放大器。所谓整体屏蔽是将整个电桥(包括电源、电缆等)统一屏蔽起来；其关键在于正确选取接地点。本例中接地点选在两平衡电阻R3、R4桥臂中间，与整体屏蔽共地。 图5.12 整体屏蔽法原理图 第5章 电容式传感器 这样传感器公用极板与屏蔽之间的寄生电容C1同测量放大器的输入阻抗相并联，从而可将C1归算到放大器的输入电容中去。由于测量放大器的输入阻抗应具有极大的值，C1的并联也是不希望的,但它只是影响灵敏度而已。另两个寄生电容C3及C4是并在桥臂R3及R4上，这会影响电桥的初始平衡及总体灵敏度，但并不妨碍电桥的正确工作。因此寄生参数对传感器电容的影响基本上被消除。整体?屏蔽法是一种较好的方法；但将使总体结构复杂化。 ⑶.采用组合式与集成技术 一种方法是将测量电路的前置级或全部装在紧靠传感器处，缩短电缆；另一种方法是采用超小型大规模集成电路，将全部测量电路组合在传感器壳体内； 第5章 电容式传感器 更进一步就是利用集成工艺，将传感器与调理等电路集成于同一芯片，构成集成电容式传感器。 5.温度影响 环境温度的变化将改变电容传感器的输出相对被测输入量的单值函数关系，从而引入温度干扰误差。这种影响主要有以下两个方面： ⑴.温度对结构尺寸的影响 电容传感器由于极间隙很小而对结构尺寸的变化特别敏感。在传感器各零件材料线胀系数不匹配的情况下，温度变化将导致极间隙较大的相对变化，从而产生很大的温度误差。 第5章 电容式传感器 随着材料、工艺、电子技术，特别是集成技术的发展，使电容式传感器的优点得到发扬而缺点不断地得到克服。电容式传感器正逐渐成为一种高灵敏度、高精度，在动态、低压及一些特殊测量方面大有发展前途地传感器。 5.2.2 应用中存在的问题 1.等效电路 上节对各种电容传感器的特性分析，都是在纯电容的条件下进行的。这在可忽略传感器附加损耗的一般情况下也是可行的。若考虑电容传感器在高温、高湿及高频激励的条件下工作而不可忽视其附加损耗和电效应影响时，其等效电路如图5.9所示。 第5章 电容式传感器 第5章 电容式传感器 图中C为传感器电容，Rp为低频损耗并联电阻，它包含极板间漏电和介质损耗；Rs为高湿、高温、高频激励工作时的串联损耗电组，它包含导线、极板间和金属支座等损耗电阻；L为电容器及引线