高度有序多孔阳极氧化铝膜形成机理的探讨研究.pdfVIP

100 2004年全国电子电镀学术研讨会论文集 高度有序多孔阳极氧化铝膜形成机理的探讨 姚素薇．孔亚西。张璐 (天津大学化工学院应用化学系300072) 征，提出铝阳极氧化过程中纳米孔从无序到有序的自组织模型，探讨了高度有序六角形纳米孔阵列的形成过程，并分析了影响纳米 孔有序度的凶素段提高有序度的途径。根据自组织模型探讨了长时间阳极氧化和二次氧化条件下形成高度有序六角形纳米孔阵 列的机理。 【关键词] 阳极氧化铝原子力显微镜模板 酸溶液中制备的AAO膜，提出了在阳极氧化过程中纳 1前言 米孔阵列由无序到有序的自组织模型，对高度有序 近年来，多}L阳极氧化铝(AAO)膜成为人们研究AAO膜的形成机理进行了探讨。 的热点，它具有高密度、高长径比的六角形纳米孔道， 2实验 作为模板可以制备各种纳米尺寸的功能器件。高纯 铝在硫酸、草酸、磷酸等电解液中阳极氧化，可以制备 纯度为99．99％的高纯铝片，经过退火(温度 AAO膜，其结构模型如图1所示，由多孔层、阻挡层和 铝基体三部分构成。 抛光、阳极氧化(5％草酸，温度25％，电压40VDC，时 CeII 逆电剥离的方法将AAO膜从铝基体上剥离，最后用 5％的磷酸溶液除去AAO膜背面的阻挡层使纳米孔上 背面的形貌。 3结果与讨论 3．1实验结果 囤1 多孔铝阳极氧化膜结构模型 在其纳米孔孔中沉积上金属和半导体可以制成 磁性记录器件，光学器件，修饰电极，电致显色装置， 电发光显色装置等”’2’3o。 制备高度有序AAO膜的方法主要有长时间氧化 法和二次氧化法。最近，人们以非单晶的高纯铝作为 基体，通过长时间氧化法”1和二次氧化法”01成功制 备出高度有序的AAO膜；还有人以完全无序结构的蒸 镀铝膜作基体，同样制备出了具有高度有序的AAO 膜”1。这些AAO膜上纳米孔阵列的有序度不低于以 单晶铝为基体制备的AAO膜”1，这些结果表明AAO 膜上纳米孔阵列的有序性不是由单晶铝的有序性决 定的，而是由阳极氧化过程决定的．本文研究了在草 高度有序多孔阳极氧化铝膜形成机理的探讨 l叭 3H20—_0“+2H30+……② 由于阻挡层厚度减小，阻挡层内部的电场强度增 强，根据氧化溶解模型，由于在强电场中的遂穿效应， ～一—————————————————————一02。进入阻挡层内部与Al“结合形成新的阻挡层“】。 2A1“+302一—_+A1203 另外，一部分反应②中生成的H，O+与反应①中 生成的C20。2。作用，避免被外电场力排出纳米}L。 生成的HC：O。一使阻挡层进一步溶解，从而推动 纳米孔的