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SEM及AFM校准放大倍率标样的研究 盛克平，丁听生，陆国辉 (上海市计量测试技术研究院，上海市201203) 摘要：本文报告了用有证标准粒子研制成紧密排列的亚微米标准样品，并给出了研制成的 标准样品的不确定度评估。将结果与国际先进的标准参考物质进行了分析比较。该亚微米 标准粒子的紧密排列的标准样品在扫描电子显微镜和原子力显微镜放大倍率校准中有实际 的应用价值。 关键词s参考物质；不确定度；放大倍率校准；紧密排列 中图分类号：TNl6文献标识码：A of calibrationforSEMAFM Studymagnification specimen ShengKeping，Dingtingsheng Instituteof 200233) (Shanghai Measurement＆TestingTechnology, LuGuohui researcher, (Independent 200233) and of sub—-micrometer standard Abstract：Studypreparationclose··packedarrays particles withcertifiedstandard weredescribedinthis for specimen particles paper．Theuncertainty standard andits and as withinternational specimen advantagedisadvantagecompared advancedstandardreferencematerialswerealso standard given．Theclose—packedarrays has valuefor ofSEMandAFM． particlesspecimenpratical calibratingmagnification Keywords：referencematerial，uncertainty,calibrating magnification，close-packedarrays O。引言 在进入2l世纪的今天，随着纳米科技、生命科学的蓬勃发展，透射电子显微镜、扫描 电子显微镜、原子力显微镜、扫描隧道显微镜越来越多地被广泛应用于实验室基础科学研 究、产品研制开发的数据采集和生产过程中的质量控制。但在这些仪器的使用中，往往并 不知道所提供的数据与正确值的偏离量。现在越来越多的质量保证体系，如IS09000系列 等，要求获得的数据具有量值溯源性。为了使在这些仪器上获得的数据符合质量体系的要 求，标准参考物质(SRM)及二级标准物质(SSM)对仪器的校验将起到很重要的作用。 目前，国际上提供这类标准参考物质的有英国的Agar科学公司的2，160线／mm和19 121(该标准 线／mm的方格标准样品…；美国国家标准研究院研制的标准参考物质SRM4849 而成的，它是专门用于校准扫描电子显微镜放大倍率的标准参考物质。)等。