第二章-透射电子显微镜.pptVIP

* 第二章 透射电子显微镜 Transmission Electron Microscope (TEM) * 第一节 透射电子显微镜的主要结构 TEM Electron optics system Vacuum system Power Supply and control system (1) illumination system (2) imaging system (3) image viewing and recording * 电子光学系统 Illumination system Imaging system Image viewing and recording * 电子光 学系统 成像放 大系统 观察和记录系统 照明 系统 电子枪 聚光镜 试样室 物镜 中间镜 投影镜 荧光屏 照相机 计算机 * 电子光学系统 照明系统 组成：由电子枪、聚 光镜以及相应的平移、 倾转和对中等调节装 置组成。 作用：是提供一束亮 度高、束斑小、照明 孔径半角小、平行度 好、束流稳定的照明 源。 * 如果电子枪叉点电子流密度为ic，发散度为β，那么电子枪的亮度为： 在电子枪叉点获得的最大聚焦电子流密度ic由朗格缪尔（Langmuir）公式给出： 所以： 1.电子枪 热阴极电子枪 场发射电子枪 An FEG tip (fine W needle) 100 kV加速电压下不同电子枪的比较 * 2.聚光镜 双聚光镜照明系统光路图 聚光镜是用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径半角和束斑大小。一般都采用双聚光镜系统，如图。 第一聚光镜是强激磁透镜，束斑缩小率为10～50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为1～5μm； 第二聚光镜是弱激磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右。结果在样品平面上可获得2～10μm的照明电子束斑。 focus underfocus overfocus 成像放大系统 组成：主要由物镜、中间镜和投影镜 等装置组成。 作用：物镜是成像系统的第一级透镜， 用来获得第一幅高分辨率电子显微图 像或电子衍射花样，它的分辨本领决 定了透射电子显微镜的分辨率。中间 镜和投影镜是将来自物镜给出的样品 形貌像或衍射花样进行分级放大。通 过成像系统透镜的不同组合可使透射 电子显微镜从50倍左右的低倍到一百 万倍以上的高倍的放大倍率内变化。 物镜 中间镜 投影镜 * 成像放大系统 Specimen Objective lens Objective aperture Intermediate lens Projector lens Screen SAD aperture 成像放大系统包括： 物镜 中间镜 投影镜 物镜光阑 选区衍射光阑 (两个光阑不同时使用) * 物镜是用来形成第一幅高分辨电子显微图象或电子衍射花样的透镜。电镜的分辨率主要取决于物镜，必须尽可能降低像差。 物镜通常为强励磁、短焦透镜（f = 1-3 mm，M=100—200×） 为进一步减小物镜球差，在物镜后焦面上安放物镜光阑。 在新的电镜中，物镜皆由两部分组成，分为上物镜和下物镜，试样置于上下物镜之间，上物镜起强聚光作用，下物镜起成象放大作用。 1.物镜 Specimen Back Focal Plane Image Plane Objective lens 物镜极靴 剖面图 2.中间镜 Screen Projector lens Intermediate lens Objective lens 中间镜将物镜所成的一次显微图像或衍射花样成像于投影镜的物平面上； 弱励磁、长焦距、变倍率透镜，放大倍数可调节0-20×； 控制电镜总放大倍数； 成像/衍射模式选择。 控制电镜总放大倍数； （a）高倍成像 样品 物镜 衍射谱 第一级实像 中间镜 第二级实像 投影镜 * （b）低倍成像 第一级实像 中间镜 （作物镜用） （荧光屏） 物镜关闭 投影镜 第一实像 （c）极低倍成像 100× 100× 20× 0.2× 0.5× 2 ×105× 成像/衍射模式选择 Image on Screen Projector lens Intermediate lens Objective lens Diffraction pattern on screen Projector lens Intermediate lens Objective lens 3.投影镜 投影镜将中间镜所成的显微图像 或衍射花样成像于荧光屏； 它是一个短焦距的强磁透镜； 投影镜的激磁电流是固定的； 成像电子束进入投影镜时孔径角很小，因此它的景深和焦长都非常大。 景深大，改变中间